氟化类金刚石薄膜摩擦特性的研究
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 前言 | 第8-15页 |
| ·类金刚石(DLC)薄膜概述 | 第8-12页 |
| ·DLC 薄膜的结构 | 第8-10页 |
| ·DLC 薄膜的性能及应用 | 第10-11页 |
| ·DLC 薄膜应用中存在的问题 | 第11-12页 |
| ·氟化类金刚石(F-DLC)薄膜 | 第12页 |
| ·氟对DLC 膜结构及性能的影响 | 第12-13页 |
| ·本研究小组的研究基础 | 第13-14页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章 射频反应磁控溅射技术 | 第15-22页 |
| ·射频反应磁控溅射 | 第15-18页 |
| ·射频溅射技术 | 第15-16页 |
| ·磁控溅射技术 | 第16-18页 |
| ·射频反应磁控溅射技术 | 第18-19页 |
| ·射频反应磁控溅射装置 | 第19-21页 |
| ·基片及其预处理 | 第21-22页 |
| 第三章 氟化类金刚石薄膜的结构及性能表征 | 第22-36页 |
| ·F-DLC 薄膜厚度的测量 | 第22-23页 |
| ·F-DLC 薄膜的摩擦学性能表征 | 第23-25页 |
| ·F-DLC 薄膜的表面形貌及粗糙度表征 | 第25-26页 |
| ·F-DLC 薄膜的纳米硬度和弹性模量表征 | 第26-29页 |
| ·F-DLC 薄膜的Raman 光谱表征 | 第29-31页 |
| ·F-DLC 薄膜的傅立叶红外光谱表征 | 第31-36页 |
| 第四章 F-DLC 薄膜摩擦特性的研究 | 第36-55页 |
| ·F-DLC 薄膜的摩擦系数 | 第36-39页 |
| ·不同射频功率下F-DLC 薄膜的摩擦系数 | 第38-39页 |
| ·不同流量比下F-DLC 薄膜的摩擦系数 | 第39页 |
| ·F-DLC 薄膜的沉积速率 | 第39-41页 |
| ·不同射频功率下F-DLC 薄膜的沉积速率 | 第40页 |
| ·不同流量比下F-DLC 薄膜的沉积速率 | 第40-41页 |
| ·F-DLC 薄膜的表面形貌分析 | 第41-44页 |
| ·F-DLC 薄膜硬度和弹性模量 | 第44-46页 |
| ·F-DLC 薄膜Raman 光谱研究 | 第46-49页 |
| ·F-DLC 薄膜的红外光谱研究 | 第49-55页 |
| 第五章 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 攻读学位期间公开发表的论文 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
