| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-21页 |
| ·微纳衍射光学的研究进展 | 第8-12页 |
| ·光存储光学头物镜的发展概况 | 第12-20页 |
| ·课题来源及论文的主要工作 | 第20-21页 |
| 2 微纳衍射光学元件设计理论 | 第21-38页 |
| ·引言 | 第21-22页 |
| ·不同特征结构尺度的衍射光学元件设计 | 第22-29页 |
| ·基于角谱理论的亚波长衍射光学结构设计 | 第29-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| 3 基于标准微纳工艺制作衍射光学元件 | 第38-52页 |
| ·引言 | 第38-42页 |
| ·单步电子束曝光 | 第42-45页 |
| ·干法刻蚀 | 第45-46页 |
| ·精细衍射光学结构的湿法腐蚀成形 | 第46-50页 |
| ·小结 | 第50-52页 |
| 4 红光高清光学头衍射物镜 | 第52-80页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·微纳衍射结构的设计与仿真 | 第52-64页 |
| ·微纳衍射结构的制作 | 第64-68页 |
| ·表面形貌测试 | 第68-73页 |
| ·光学性能测试 | 第73-77页 |
| ·结果分析与讨论 | 第77-80页 |
| 5 总结与展望 | 第80-82页 |
| ·总结 | 第80-81页 |
| ·展望 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-88页 |