| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| ·研究背景 | 第7-10页 |
| ·衍射微光学技术 | 第10-12页 |
| ·论文主要工作 | 第12-13页 |
| 2 衍射理论与积分模型 | 第13-21页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·衍射理论 | 第14-18页 |
| ·瑞利-索末菲积分模型 | 第18-21页 |
| 3 衍射物镜的设计与仿真 | 第21-30页 |
| ·算法设计 | 第21-25页 |
| ·数值计算与仿真 | 第25-29页 |
| ·小结 | 第29-30页 |
| 4 衍射物镜制作 | 第30-47页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·版图结构 | 第30-34页 |
| ·单步光刻 | 第34-39页 |
| ·化学刻蚀 | 第39-44页 |
| ·小结 | 第44-47页 |
| 5 测试与分析 | 第47-62页 |
| ·表面形貌特征 | 第47-56页 |
| ·光学特性 | 第56-62页 |
| 6 衍射焦斑尺寸的量子约束 | 第62-67页 |
| ·引言 | 第62页 |
| ·理论公式推导 | 第62-64页 |
| ·结果分析 | 第64-66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 7 总结 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |