自旋阀微型传感器的研究与设计
摘要 | 第1-6页 |
Abstract | 第6-9页 |
第一章 绪论 | 第9-18页 |
·磁电子学简介 | 第9-10页 |
·巨磁阻效应的原理 | 第10-13页 |
·巨磁阻传感器的发展和应用 | 第13-16页 |
·巨磁阻传感器的发展 | 第13-14页 |
·巨磁阻传感器的应用 | 第14-16页 |
·本课题研究内容 | 第16-18页 |
第二章 自旋阀微型传感器结构设计 | 第18-28页 |
·自旋阀多层膜的巨磁阻效应 | 第18-19页 |
·自旋阀材料的结构 | 第19-20页 |
·自旋阀巨磁阻效应的物理阐述 | 第20-21页 |
·自旋阀传感器分析与设计 | 第21-26页 |
·自旋阀传感单元的分析 | 第21-24页 |
·自旋阀微型传感器的设计 | 第24-26页 |
·自旋阀微型传感器板图的设计 | 第26页 |
·本章小结 | 第26-28页 |
第三章 自旋阀微型传感器的工艺设计 | 第28-39页 |
·自旋阀传感器薄膜材料的选取 | 第28-29页 |
·自旋阀传感器的薄膜制备 | 第29-35页 |
·磁控溅射原理 | 第29-31页 |
·自旋阀传感器薄膜的制备 | 第31-33页 |
·磁场下退火工艺处理 | 第33-34页 |
·影响薄膜制备的因素 | 第34-35页 |
·掩模板的制备 | 第35-36页 |
·自旋阀传感器工艺 | 第36-37页 |
·本章小结 | 第37-39页 |
第四章 自旋阀微型传感器的应用 | 第39-53页 |
·自旋阀微型传感器应用电路的设计 | 第39-49页 |
·PCB基本概念和设计流程 | 第39-44页 |
·模拟电路的设计 | 第44-47页 |
·数字电路的设计 | 第47-49页 |
·测试与数据分析 | 第49-51页 |
·本章小结 | 第51-53页 |
第五章 结论 | 第53-54页 |
参考文献 | 第54-56页 |
在学研究成果 | 第56-57页 |
致谢 | 第57页 |