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自旋阀微型传感器的研究与设计

摘要第1-6页
Abstract第6-9页
第一章 绪论第9-18页
   ·磁电子学简介第9-10页
   ·巨磁阻效应的原理第10-13页
   ·巨磁阻传感器的发展和应用第13-16页
     ·巨磁阻传感器的发展第13-14页
     ·巨磁阻传感器的应用第14-16页
   ·本课题研究内容第16-18页
第二章 自旋阀微型传感器结构设计第18-28页
   ·自旋阀多层膜的巨磁阻效应第18-19页
   ·自旋阀材料的结构第19-20页
   ·自旋阀巨磁阻效应的物理阐述第20-21页
   ·自旋阀传感器分析与设计第21-26页
     ·自旋阀传感单元的分析第21-24页
     ·自旋阀微型传感器的设计第24-26页
     ·自旋阀微型传感器板图的设计第26页
   ·本章小结第26-28页
第三章 自旋阀微型传感器的工艺设计第28-39页
   ·自旋阀传感器薄膜材料的选取第28-29页
   ·自旋阀传感器的薄膜制备第29-35页
     ·磁控溅射原理第29-31页
     ·自旋阀传感器薄膜的制备第31-33页
     ·磁场下退火工艺处理第33-34页
     ·影响薄膜制备的因素第34-35页
   ·掩模板的制备第35-36页
   ·自旋阀传感器工艺第36-37页
   ·本章小结第37-39页
第四章 自旋阀微型传感器的应用第39-53页
   ·自旋阀微型传感器应用电路的设计第39-49页
     ·PCB基本概念和设计流程第39-44页
     ·模拟电路的设计第44-47页
     ·数字电路的设计第47-49页
   ·测试与数据分析第49-51页
   ·本章小结第51-53页
第五章 结论第53-54页
参考文献第54-56页
在学研究成果第56-57页
致谢第57页

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