CMOS兼容的风速传感器和系统电路的设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-12页 |
| ·课题背景 | 第8-10页 |
| ·本论文的主要工作 | 第10-11页 |
| ·本章小结 | 第11-12页 |
| 第二章 风速传感器的工作原理 | 第12-22页 |
| ·风速传感器中的热量 | 第12-13页 |
| ·边界层理论 | 第13-14页 |
| ·风速传感器的三种工作原理 | 第14-18页 |
| ·热脉冲型风速传感器 | 第14-15页 |
| ·热损失型风速传感器 | 第15-16页 |
| ·热温差型风速传感器 | 第16-18页 |
| ·风向的测试原理 | 第18-20页 |
| ·传感器设计的性能指标 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 风速传感器的设计与分析 | 第22-29页 |
| ·二维热流量传感器的设计 | 第22-23页 |
| ·衬底材料的选择 | 第22页 |
| ·热敏感元件的设计 | 第22-23页 |
| ·加热元件的设计 | 第23页 |
| ·布局设计 | 第23页 |
| ·传感器的结构优化 | 第23-27页 |
| ·传感器的有限元模型 | 第24页 |
| ·传感器的两种控制方式 | 第24-25页 |
| ·两种控制方式下温差和风速的关系 | 第25-27页 |
| ·热电偶和加热条距离对灵敏度的影响 | 第27页 |
| ·风向测试 | 第27页 |
| ·基于热偶的二维风速传感器结构 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第四章 风速传感器的电路设计 | 第29-42页 |
| ·基准电压的概念 | 第29-30页 |
| ·基准源设计的理论基础 | 第30-34页 |
| ·负温度系数电压 | 第30-32页 |
| ·正温度系数电压 | 第32-33页 |
| ·温度补偿的方法 | 第33-34页 |
| ·带隙基准源系统架构设计 | 第34页 |
| ·实际的基准电压电路结构 | 第34-36页 |
| ·输出电压的大小 | 第36-37页 |
| ·电路的仿真设计 | 第37-40页 |
| ·基准电路设计尺寸 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 CMOS风速传感器的工艺及版图 | 第42-49页 |
| ·风速计的工艺设计 | 第42-45页 |
| ·具体的工艺流程 | 第42-44页 |
| ·风速传感器CMOS工艺流程示意图 | 第44-45页 |
| ·CMOS风速传感器的版图设计 | 第45-46页 |
| ·基准电路的版图设计 | 第46-48页 |
| ·流体传感器的后道腐蚀工艺 | 第48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第六章 CMOS兼容风速传感器的测试 | 第49-52页 |
| ·风速计的控制与测试电路 | 第49页 |
| ·风速计的测试装置 | 第49-50页 |
| ·测试结果 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第七章 结束语 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 附录 | 第56-58页 |
| 作者简介 | 第58页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及专利 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
