| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| ·前言 | 第9-10页 |
| ·波导材料（PI）的研究现状 | 第10-13页 |
| ·聚合物光波导的传统制作工艺 | 第13-14页 |
| ·直写技术的国内外发展现状及前景 | 第14-16页 |
| ·MICROPEN 直写聚合物光波导的可能性及其工艺特点 | 第16-17页 |
| ·课题来源、目的、研究重点和技术方案 | 第17-20页 |
| 2 实验的材料、方法和设备 | 第20-30页 |
| ·前言 | 第20-21页 |
| ·直写氟化聚酰亚胺条形波导的实验原理 | 第21-22页 |
| ·微细笔及直写设备 | 第22-24页 |
| ·聚合物波导损耗测试原理、方法和设备 | 第24-28页 |
| ·其它测试设备 | 第28-30页 |
| 3 氟化聚酰亚胺的合成工艺及性能 | 第30-38页 |
| ·前言 | 第30页 |
| ·氟化聚酰亚胺的合成原理及工艺 | 第30-33页 |
| ·氟化聚酰亚胺的性能 | 第33-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4 MICROPEN 直写聚合物波导的工艺研究 | 第38-48页 |
| ·前言 | 第38页 |
| ·聚合物波导的结构设计 | 第38-42页 |
| ·MICROPEN 直写波导的工艺流程 | 第42页 |
| ·直写速度对宽度的影响 | 第42-44页 |
| ·气体压力对宽度的影响 | 第44-45页 |
| ·悬高对波导宽度的影响 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 5 直写波导的缺陷讨论与损耗测试分析 | 第48-57页 |
| ·微细笔直写聚合物波导的形貌分析 | 第48-50页 |
| ·波导的缺陷分析 | 第50-53页 |
| ·条形波导的传输损耗测试 | 第53-55页 |
| ·波导损耗的来源和分析 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 6 主要结论和建议 | 第57-59页 |
| ·主要结论 | 第57页 |
| ·今后工作的建议 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 附录1 作者攻读硕士学位期间发表的文章和申请的专利 | 第65页 |