特种成膜设备真空容器设计及有限元分析
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 前言 | 第8-9页 |
| 第一章 文献综述 | 第9-24页 |
| ·真空成膜技术及研究进展 | 第9-16页 |
| ·蒸发成膜技术 | 第9-10页 |
| ·溅射成膜技术 | 第10-12页 |
| ·离子束成膜技术及研究进展 | 第12-14页 |
| ·化学气相成膜技术 | 第14-16页 |
| ·蒸发源技术 | 第16-20页 |
| ·电阻加热式蒸发源 | 第17-18页 |
| ·高频感应加热式蒸发源 | 第18页 |
| ·电子束加热式蒸发源 | 第18-20页 |
| ·激光加热式蒸发源 | 第20页 |
| ·化工容器设计与有限元分析方法 | 第20-23页 |
| ·有限元法的基本思想 | 第21-22页 |
| ·有限元法的研究进展 | 第22-23页 |
| ·本课题的主要研究工作 | 第23-24页 |
| 第二章 真空容器设计 | 第24-41页 |
| ·设备总体概况 | 第24-28页 |
| ·电子束蒸发源 | 第24-25页 |
| ·基板支架及其相关部件 | 第25页 |
| ·监控和测量系统 | 第25-26页 |
| ·离子源 | 第26页 |
| ·真空系统 | 第26页 |
| ·冷却系统 | 第26-27页 |
| ·充气系统 | 第27-28页 |
| ·控制柜及专用电源 | 第28页 |
| ·真空容器结构设计 | 第28-32页 |
| ·真空容器结构设计要求 | 第28-29页 |
| ·壳体材料的选择 | 第29-30页 |
| ·冷却方式的选择 | 第30-31页 |
| ·结构设计 | 第31-32页 |
| ·真空系统设计 | 第32-40页 |
| ·主真空泵选型 | 第33-34页 |
| ·扩散泵返油污染控制 | 第34-35页 |
| ·主真空泵抽速计算 | 第35-37页 |
| ·前级泵计算 | 第37-39页 |
| ·计算抽气时间 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 容器主要强度尺寸计算及优化 | 第41-54页 |
| ·容器主要强度尺寸的常规法计算 | 第41-43页 |
| ·壳体壁厚相关尺寸的计算 | 第41-43页 |
| ·前门法兰壁厚的计算 | 第43页 |
| ·结构优化设计概述 | 第43-47页 |
| ·真空容器结构优化的意义 | 第43-44页 |
| ·结构优化设计方法 | 第44页 |
| ·基于APDL的结构优化设计概念 | 第44-46页 |
| ·基于APDL的设计优化过程 | 第46-47页 |
| ·真空容器壳体壁厚优化计算 | 第47-51页 |
| ·壳体结构分析及模型简化 | 第47-48页 |
| ·建立简化分析模型 | 第48-49页 |
| ·基于APDL优化模块优化及结果 | 第49-51页 |
| ·真空容器前门厚度优化计算 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 真空容器的有限元分析 | 第54-67页 |
| ·ANSYS有限元分析的基本程序 | 第54-56页 |
| ·构建几何模型 | 第56-57页 |
| ·建立有限元模型 | 第57-59页 |
| ·设置材料特性及单元类型 | 第57-58页 |
| ·划分网格 | 第58-59页 |
| ·载荷工况分析 | 第59-61页 |
| ·载荷工况 | 第59页 |
| ·自重 | 第59页 |
| ·外表面载荷 | 第59-60页 |
| ·夹套压力 | 第60页 |
| ·锁紧机构压力 | 第60页 |
| ·支撑力 | 第60页 |
| ·对称边界条件 | 第60-61页 |
| ·计算分析及强度评定 | 第61-65页 |
| ·强度分析 | 第61-62页 |
| ·变形分析 | 第62-63页 |
| ·安全判据 | 第63-64页 |
| ·强度评定 | 第64-65页 |
| ·稳定性分析 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
