| 第一章 引言 | 第1-22页 |
| ·纳米技术与SPM | 第9-10页 |
| ·SPM 的工作原理及优点 | 第10-14页 |
| ·接触式原子力显微镜 | 第10-13页 |
| ·SPM 的优点 | 第13-14页 |
| ·SPM 控制系统的研究和发展现状 | 第14页 |
| ·实验室的SPM 控制系统研发现状 | 第14-15页 |
| ·有关系统DSP 芯片的选择 | 第15-20页 |
| ·目前DSP 芯片的应用背景 | 第15-16页 |
| ·DSP 的基本结构及特点 | 第16-20页 |
| ·DSP 的分类 | 第17-18页 |
| ·DSP 的结构特点 | 第18-19页 |
| ·TMS320C6713 的性能指标与体系结构 | 第19-20页 |
| ·DSP 在新型SPM 系统中承担的任务 | 第20页 |
| ·本课题的主要研究目的、内容和意义 | 第20-22页 |
| 第二章 SPM 数字控制系统的研究 | 第22-50页 |
| ·PID 控制原理及实现算法 | 第22-24页 |
| ·模拟PID 控制在SPM 中的应用 | 第24-26页 |
| ·数字PID 控制在SPM 中的应用 | 第26-35页 |
| ·数字PID 控制 | 第26-29页 |
| ·SPM 控制系统的硬件架构 | 第29-30页 |
| ·SPM 控制系统的数字PID 控制模型建立 | 第30-31页 |
| ·SPM 数字控制系统各模块的介绍及作用 | 第31-35页 |
| ·测量部分(反馈环节) | 第31-32页 |
| ·数据采集部分 | 第32-33页 |
| ·控制执行部分 | 第33-34页 |
| ·PID 控制器部分 | 第34-35页 |
| ·系统软件设计 | 第35-43页 |
| ·TMS320C6000 的软件开发环境及开发工具 | 第35-36页 |
| ·数字式SPM 的C 程序基本结构 | 第36-37页 |
| ·主程序设计与分析 | 第37-41页 |
| ·PID 控制器程序设计与分析 | 第41-42页 |
| ·USB 中断服务程序 | 第42-43页 |
| ·上位机软件设计 | 第43-50页 |
| ·设备固件程序设计 | 第43-44页 |
| ·PC 端的客户驱动程序应用 | 第44页 |
| ·PC 端的客户应用程序设计 | 第44-50页 |
| ·通讯协议的整定 | 第44-47页 |
| ·客户应用软件的分析与设计 | 第47-50页 |
| 第三章 DSP-SPM 系统的软硬件调试 | 第50-75页 |
| ·针对SPM 系统的硬件测试和完善 | 第50-64页 |
| ·电源模块测试 | 第50-52页 |
| ·高压板测试 | 第52-56页 |
| ·D/A 板测试 | 第56-60页 |
| ·A/D 板测试 | 第60-62页 |
| ·多功能信号板测试 | 第62-64页 |
| ·针对DSP-SPM 系统的软硬件联调 | 第64-75页 |
| ·数字PID 控制开环跟踪效果测试 | 第64-72页 |
| ·上下位机联调 | 第72-75页 |
| 第四章 实验结果及分析 | 第75-81页 |
| ·在数字PID 控制下光盘的扫描结果 | 第75-77页 |
| ·在数字PID 控制下标准光栅的扫描结果与分析 | 第77-79页 |
| ·实验结果分析 | 第79-81页 |
| 第五章 课题总结 | 第81-83页 |
| 附录 SPM 系统及主要电路板照片 | 第83-86页 |
| 参考文献 | 第86-88页 |
| 课题研究成果 | 第88-89页 |
| 致谢 | 第89-90页 |
| 论文答辩说明 | 第90页 |
| 关于论文使用授权的说明 | 第90页 |