| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-23页 |
| §1.1 引言 | 第8页 |
| §1.2 硬质薄膜材料发展概况 | 第8-11页 |
| §1.3 硬质薄膜制备技术概述 | 第11-16页 |
| §1.4 脉冲偏压电弧离子镀 | 第16页 |
| §1.5 电弧离子镀存在的问题与解决现状 | 第16-18页 |
| §1.6 薄膜测试方法 | 第18-22页 |
| §1.6.1 薄膜的化学成分 | 第19页 |
| §1.6.2 薄膜相结构 | 第19-20页 |
| §1.6.3 薄膜表面及断面形貌 | 第20-21页 |
| §1.6.4 薄膜力学性能 | 第21-22页 |
| §1.7 论文工作的内容与意义 | 第22-23页 |
| 第二章 实验设备与实验方法 | 第23-32页 |
| §2.1 实验设备概述 | 第23-25页 |
| §2.2 实验方法 | 第25-32页 |
| §2.2.1 基体材料的选择，制备及预处理 | 第25-26页 |
| §2.2.2 薄膜的制备 | 第26-30页 |
| §2.2.3 薄膜测试 | 第30-32页 |
| 第三章 脉冲偏压对薄膜表面形貌的影响 | 第32-39页 |
| §3.1 前言 | 第32-34页 |
| §3.2 脉冲偏压对薄膜表面形貌影响的分析 | 第34-38页 |
| §3.3 本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 TiN／(Ti，Al)N复合多层膜的性能测试 | 第39-55页 |
| §4.1 复合多层膜横截面SEM分析 | 第39-41页 |
| §4.2 脉冲偏压幅值对薄膜化学成分的影响 | 第41-42页 |
| §4.3 复合多层膜的相结构分析 | 第42-49页 |
| §4.3.1 不同脉冲幅值下的复合多层膜的相结构分析 | 第43-47页 |
| §4.3.2 相同脉冲偏压幅值不同厚度比多层膜的相结构分析 | 第47-49页 |
| §4.4 复合多层膜的显微硬度 | 第49-53页 |
| §4.5 本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 结论与展望 | 第55-57页 |
| §5.1 论文总结 | 第55页 |
| §5.2 工作展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
