| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-26页 |
| ·直拉单晶炉的国内外研究现状及发展 | 第9-15页 |
| ·硅单晶及其制备方法直拉法简介 | 第9-10页 |
| ·直拉单晶炉结构简介 | 第10-11页 |
| ·直拉单晶炉的发展概述 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-15页 |
| ·直拉单晶炉控制系统概述 | 第15-16页 |
| ·直拉单晶炉热场、影响因素 | 第16-20页 |
| ·直拉单晶炉热系统和热场 | 第16-20页 |
| ·影响热场温度梯度的因素 | 第20页 |
| ·直拉单晶炉热场控制系统 | 第20-23页 |
| ·直拉单晶炉热场控制系统及测试平台 | 第20-21页 |
| ·直拉单晶炉热场控制方式 | 第21-22页 |
| ·热场温度控制算法 | 第22-23页 |
| ·CZ150单晶炉简介 | 第23-24页 |
| ·本论文的研究内容和方法 | 第24-26页 |
| ·课题来源 | 第24-25页 |
| ·研究内容和方法 | 第25-26页 |
| 第二章 直拉单晶炉热场建模 | 第26-36页 |
| ·熔体中生长单晶的特点 | 第26-27页 |
| ·结晶过程的驱动力 | 第27-28页 |
| ·熔体的热传递 | 第28-30页 |
| ·熔体生长系统的热传输、热场建模 | 第30-35页 |
| ·晶体生长界面处的热输运方程 | 第30-31页 |
| ·晶体中的热场建模 | 第31-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 直拉单晶炉热场模糊变系数PID温度控制算法研究 | 第36-52页 |
| ·直拉单晶炉热场温度特性测试 | 第36-38页 |
| ·直拉单晶炉热场模糊变系数PID温度控制 | 第38-50页 |
| ·模糊控制原理 | 第38-40页 |
| ·模糊控制器各部分实现方法 | 第40-41页 |
| ·模糊控制器的设计 | 第41-43页 |
| ·模糊变系数PID原理 | 第43-44页 |
| ·模糊变系数PID参数整定思想 | 第44-45页 |
| ·模糊变系数PID控制算法设计的具体实现 | 第45-50页 |
| ·控制结果 | 第50页 |
| ·试验中有关PID控制参数整定的一些规则 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 基于PLC直拉单晶炉热场控制系统硬件实现 | 第52-61页 |
| ·热场控制系统主要功能及硬件要求 | 第52-53页 |
| ·热场控制系统主要功能 | 第52页 |
| ·热场控制系统的硬件要求 | 第52-53页 |
| ·热场控制系统的硬件设计 | 第53-60页 |
| ·热场控制系统设计原理 | 第53-54页 |
| ·加热器接口 | 第54页 |
| ·直拉单晶炉热场控制系统功能模块 | 第54-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 基于 PLC直拉单晶炉热场控制系统软件实现 | 第61-71页 |
| ·热场控制系统的软件要求 | 第61-62页 |
| ·热场控制软件系统的总体框架 | 第62页 |
| ·热场控制软件系统功能模块 | 第62-70页 |
| ·通讯模块 | 第62-66页 |
| ·时间模块 | 第66-67页 |
| ·系统操作参数SOP程序的编写 | 第67-68页 |
| ·控制模块 | 第68-70页 |
| ·主程序 | 第70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 直拉单晶炉热场温度控制的试验 | 第71-81页 |
| 第七章 总结与展望 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 致谢 | 第87页 |