| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-19页 |
| 1．1 引言 | 第7页 |
| 1．2 玻璃集成光学器件的应用 | 第7-8页 |
| 1．3 玻璃集成光学器件的制作技术 | 第8-10页 |
| 1．4 离子交换玻璃波导的研究现状 | 第10-11页 |
| 1．5 无源光功分器的发展状况 | 第11-16页 |
| 1．5．1 概况 | 第11页 |
| 1．5．2 无源光功分器开发实例 | 第11-16页 |
| 1．6 本论文的主要工作 | 第16-19页 |
| 第二章 离子交换玻璃波导的研究 | 第19-41页 |
| 2．1 氧化物玻璃波导的特性 | 第19-25页 |
| 2．1．1 氧化物玻璃的成分 | 第19-20页 |
| 2．1．2 影响氧化物玻璃折射率的因素 | 第20页 |
| 2．1．3 玻璃波导的损耗 | 第20-23页 |
| 2．1．4 降低玻璃波导损耗的途径 | 第23-25页 |
| 2．2 熔盐离子交换法制作玻璃波导的原理 | 第25-32页 |
| 2．2．1 离子交换的驱动机制 | 第25-29页 |
| 2．2．2 离子交换产生的折射率变化 | 第29-32页 |
| 2．3 常用的离子交换熔盐 | 第32-34页 |
| 2．3．1 Ag~+／Na~+交换的特点： | 第33-34页 |
| 2．3．2 K~+／Na~+交换的特点 | 第34页 |
| 2．4 实验设备及反应过程 | 第34-41页 |
| 2．4．1 实验设备 | 第34-37页 |
| 2．4．2 反应过程 | 第37-41页 |
| 第三章 离子交换玻璃级联Y分支光波导的设计 | 第41-64页 |
| 3．1 对称Y分支波导工作原理 | 第41-42页 |
| 3．2 三维FD-BPM的研究 | 第42-46页 |
| 3．2．1 FFT-BPM | 第42-43页 |
| 3．2．2 FD-BPM | 第43-44页 |
| 3．2．3 边界条件(Boundary Condition)的选取 | 第44-46页 |
| 3．3 各种改进型Y分支设计简介 | 第46-49页 |
| 3．3．1 直接转向型Y分支改进结构类型 | 第46-49页 |
| 3．4 不同S弯曲型对称Y分支分析 | 第49-51页 |
| 3．5 级联Y分支波导的优化设计 | 第51-64页 |
| 3．5．1 理论分析及Y分支结构模型 | 第52-53页 |
| 3．5．2 模拟结果及讨论 | 第53-56页 |
| 3．5．3 多级级联Y分支功分器设计及模拟结果 | 第56-64页 |
| 第四章 器件制作及测试 | 第64-78页 |
| 4．1 器件制作工艺流程 | 第64-70页 |
| 4．1．1 玻璃基片以及光刻掩膜版的清洗 | 第64-65页 |
| 4．1．2 铝膜的淀积 | 第65页 |
| 4．1．3 光刻流程 | 第65-67页 |
| 4．1．4 湿法腐蚀及去胶 | 第67页 |
| 4．1．5 两步法电场辅助离子交换制作波导 | 第67-69页 |
| 4．1．6 器件端面抛光 | 第69-70页 |
| 4．1．7 实际工艺中需要注意的问题 | 第70页 |
| 4．2 器件测试 | 第70-78页 |
| 4．2．1 测试系统介绍 | 第70-72页 |
| 4．2．2 器件测试结果 | 第72-74页 |
| 4．2．3 测试结果分析 | 第74-78页 |
| 第五章 总结与展望 | 第78-81页 |
| 5．1 总结 | 第78-79页 |
| 5．2 展望 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81页 |