| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 图、表索引 | 第9-11页 |
| 符号索引 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-19页 |
| ·研究背景和选题依据 | 第12-14页 |
| ·研究背景 | 第12-13页 |
| ·选题依据 | 第13-14页 |
| ·国内外研究现状和发展方向 | 第14-17页 |
| ·微细电解加工技术的研究现状和发展方向 | 第14-16页 |
| ·微位移技术的研究现状和发展方向 | 第16-17页 |
| ·本文研究主要内容 | 第17页 |
| ·本课题研究的意义 | 第17-19页 |
| 第二章 超纯水微细电解加工送进装置的功能要求及实现方案 | 第19-39页 |
| ·送进装置的需求分析 | 第19-28页 |
| ·微细电解加工的机理分析 | 第19-28页 |
| ·进行微细电解加工应具备的条件 | 第20-25页 |
| ·微细电解加工的特点 | 第25-27页 |
| ·超纯水微细电解加工的初步分析 | 第27-28页 |
| ·超纯水微细电解加工送进装置应满足的进给特性 | 第28页 |
| ·进给机构实现方案的确定 | 第28-34页 |
| ·微进给机构的概述 | 第28-29页 |
| ·微进给机构的实现方法及技术支持 | 第29-31页 |
| ·微进给机构的实现方法 | 第29-31页 |
| ·微进给机构的技术支持 | 第31页 |
| ·本文所采用的进给机构 | 第31-34页 |
| ·进给系统的功能要求 | 第34-35页 |
| ·压电陶瓷驱动器驱动电源控制面板的设计 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第三章 微细电解加工送进装置机械系统的设计 | 第39-62页 |
| ·压电陶瓷微位移器 | 第39-54页 |
| ·压电陶瓷微位移器的产生背景及应用领域 | 第39-41页 |
| ·压电材料的驱动原理 | 第41-42页 |
| ·压电陶瓷微位移器驱动方式的选择 | 第42-45页 |
| ·压电陶瓷驱动器特点、选型及性能分析 | 第45-54页 |
| ·压电陶瓷驱动器特点 | 第45页 |
| ·压电陶瓷驱动器的选型 | 第45-48页 |
| ·PA 50/12 型压电陶瓷驱动器的性能分析 | 第48-54页 |
| ·超纯水微细电解加工装置的设计 | 第54-57页 |
| ·压电陶瓷微位移器的安装 | 第57-61页 |
| ·加工装置的装夹 | 第61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 压电陶瓷驱动器驱动电源及其控制器的设计 | 第62-80页 |
| ·压电陶瓷驱动器驱动电源的设计 | 第62-72页 |
| ·稳压电源的质量指标 | 第62-63页 |
| ·PA 50/12 型压电陶瓷驱动器对驱动电源的要求 | 第63-64页 |
| ·压电陶瓷驱动器常用的几种驱动的方法 | 第64-65页 |
| ·驱动电源工作原理 | 第65-69页 |
| ·主要元器件的功能说明及其选择 | 第69-72页 |
| ·本驱动电源的特点 | 第72页 |
| ·压电陶瓷驱动器驱动电源控制器的设计 | 第72-79页 |
| ·输入和输出接口电路的设计 | 第72-74页 |
| ·功能按键、开关接口电路的设计 | 第74页 |
| ·压电陶瓷驱动及接口电路的设计 | 第74-75页 |
| ·系统软件的设计 | 第75-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第五章 系统性能检测与微细电解加工工艺实验 | 第80-88页 |
| ·压电陶瓷驱动器执行情况检测 | 第80-82页 |
| ·超纯水微细电解加工工艺实验 | 第82-87页 |
| ·离子交换树脂（膜）对加工的影响 | 第82-84页 |
| ·电参数、加工间隙对电流效率、加工精度的影响 | 第84-87页 |
| ·本章小结 | 第87-88页 |
| 第六章 结论与展望 | 第88-90页 |
| ·论文总结 | 第88页 |
| ·工作展望 | 第88-90页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第90-91页 |
| 致谢 | 第91-92页 |
| 参考文献 | 第92-94页 |