MEMS面型微加热器的结构设计和制作
| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·微电子机械系统(MEMS)简介 | 第10-13页 |
| ·MEMS及其特点 | 第10-11页 |
| ·MEMS技术基础 | 第11-13页 |
| ·MEMS发展前景和面临的问题 | 第13页 |
| ·气体传感器技术 | 第13-17页 |
| ·气体传感器历史 | 第13-14页 |
| ·MEMS技术微结构气体传感器 | 第14-17页 |
| ·微型加热器技术 | 第17-19页 |
| ·气敏传感器中的微型加热器 | 第17-18页 |
| ·微加热器的其他应用 | 第18-19页 |
| ·本论文的主要工作 | 第19-21页 |
| 第二章 MEMS面型微加热器的理论分析和设计 | 第21-40页 |
| ·MEMS面型微加热器的结构设计 | 第21-23页 |
| ·微加热器单元的基本结构 | 第21-22页 |
| ·电桥结构 | 第22-23页 |
| ·微加热器的力学设计 | 第23-25页 |
| ·支撑膜的应力补偿 | 第23-24页 |
| ·高温下的热应力 | 第24-25页 |
| ·微加热器的热学设计 | 第25-31页 |
| ·微加热器热分布的解析解分析 | 第25-30页 |
| ·微加热器的瞬态电热分析 | 第30-31页 |
| ·微加热器的有限元模拟 | 第31-39页 |
| ·有限元模型 | 第31-33页 |
| ·ANSYS稳态电热分析 | 第33-36页 |
| ·ANSYS瞬态电热分析 | 第36页 |
| ·ANSYS热应力分析 | 第36-39页 |
| ·小结 | 第39-40页 |
| 第三章 MEMS面型微加热器的材料和制作工艺 | 第40-49页 |
| ·微加热器制作工艺 | 第40-44页 |
| ·支撑膜的制作 | 第40-42页 |
| ·加热电阻的制作 | 第42-44页 |
| ·硅的各向异性腐蚀技术 | 第44页 |
| ·工艺流程 | 第44-48页 |
| ·小结 | 第48-49页 |
| 第四章 MEMS面型微加热器的性能测试 | 第49-60页 |
| ·器件参数 | 第49-50页 |
| ·Pt薄膜电阻温度系数标定 | 第50-52页 |
| ·微加热器加热电阻的电热特性测试 | 第52-56页 |
| ·稳态电热特性测试 | 第52-54页 |
| ·瞬态电热特性测试 | 第54-56页 |
| ·复合膜应力的测量 | 第56-57页 |
| ·内应力的测量 | 第56-57页 |
| ·支撑膜高温下的稳定性 | 第57页 |
| ·微加热器温度均匀性测试 | 第57-59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 第五章 总结和展望 | 第60-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 作者简介 | 第69页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文: | 第69页 |
