| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-27页 |
| 1．1 巨磁电阻效应材料的研究进展 | 第10-11页 |
| 1．2 巨磁电阻效应材料的种类及性能 | 第11-15页 |
| 1．2．1 连续多层膜 | 第11-12页 |
| 1．2．2 自旋阀 | 第12-13页 |
| 1．2．3 颗粒膜 | 第13页 |
| 1．2．4 “非连续”多层膜 | 第13-14页 |
| 1．2．5 铁磁隧道结 | 第14页 |
| 1．2．6 其它巨磁电阻效应材料 | 第14-15页 |
| 1．3 巨磁电阻效应理论 | 第15-19页 |
| 1．3．1 磁电阻理论 | 第15-16页 |
| 1．3．2 多层膜巨磁电阻效应产生机制 | 第16-17页 |
| 1．3．3 颗粒膜巨磁电阻效应产生机制 | 第17-19页 |
| 1．4 巨磁电阻效应材料的应用 | 第19-22页 |
| 1．4．1 计算机硬盘读出磁头 | 第19-21页 |
| 1．4．2 传感器 | 第21-22页 |
| 1．4．3 巨磁电阻随机存储器（MRAM） | 第22页 |
| 1．5 离子注入技术及其在磁性材料中的应用 | 第22-23页 |
| 1．6 选题的意义与论文创新点 | 第23-24页 |
| 1．6．1 合金系的创新 | 第23页 |
| 1．6．2 离子注入对NiFeCo/Ag颗粒膜的改性 | 第23-24页 |
| 1．7 论文的主要工作 | 第24-26页 |
| 1．8 本章小结 | 第26-27页 |
| 第二章 RMFS-4磁控溅射仪技术特性 | 第27-37页 |
| 2．1 磁控溅射镀膜原理 | 第27-29页 |
| 2．1．1 气体的辉光放电 | 第27页 |
| 2．1．2 磁控溅射镀膜的基本过程 | 第27-29页 |
| 2．2 RMFS-4磁控溅射仪的主要功能与技术特性 | 第29-30页 |
| 2．3 薄膜沉积稳定性 | 第30-33页 |
| 2．3．1 薄膜成分稳定性的研究 | 第30-33页 |
| 2．3．2 薄膜溅射速率稳定性的研究 | 第33页 |
| 2．4 薄膜沉积工艺参数优化 | 第33-36页 |
| 2．4．1 工作气压 | 第34-35页 |
| 2．4．2 溅射功率 | 第35页 |
| 2．4．3 背底真空度 | 第35-36页 |
| 2．4．4 靶材与基片距离 | 第36页 |
| 2．5 多层膜与颗粒膜的工艺参数优化 | 第36页 |
| 2．6 本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 实验内容与实验方法 | 第37-45页 |
| 3．1 薄膜制备 | 第37-39页 |
| 3．1．1 基片选择与预处理 | 第37-38页 |
| 3．1．2 复合靶结构 | 第38页 |
| 3．1．3 薄膜组分设计 | 第38-39页 |
| 3．1．4 薄膜制备工艺流程 | 第39页 |
| 3．2 薄膜的退火工艺 | 第39-40页 |
| 3．3 离子注入设备与工艺 | 第40-41页 |
| 3．4 样品晶体结构分析 | 第41页 |
| 3．5 样品的成分分析 | 第41-42页 |
| 3．5．1 卢瑟福（Rutherford）背散射（RBS）分析 | 第41-42页 |
| 3．5．2 薄膜成分能谱分析 | 第42页 |
| 3．6 样品的微观形貌观测 | 第42-43页 |
| 3．6．1 薄膜的截面形貌观测 | 第42页 |
| 3．6．2 原子力显微镜（AFM）分析 | 第42-43页 |
| 3．6．3 磁力显微镜（MFM）分析 | 第43页 |
| 3．7 薄膜巨磁电阻效应与磁性测试 | 第43-44页 |
| 3．7．1 薄膜磁电阻的测试原理 | 第43-44页 |
| 3．7．2 样品巨磁电阻效应和磁性曲线的测量 | 第44页 |
| 3．8 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 NiFeCo/Ag颗粒膜微结构、成分及形貌分析 | 第45-55页 |
| 4．1 NiFeCo/Ag颗粒膜的晶体结构分析 | 第45-46页 |
| 4．2 NiFeCo/Ag颗粒膜的成分分析 | 第46-47页 |
| 4．3 NiFeCo/Ag颗粒膜的表面形貌观测 | 第47-51页 |
| 4．3．1 场发射扫描电镜观测薄膜表面形貌 | 第47-49页 |
| 4．3．2 原子力显微镜观测薄膜表面形貌 | 第49-51页 |
| 4．4 NiFeCo/Ag颗粒膜的截面形貌观测 | 第51-52页 |
| 4．5 NiFeCo/Ag颗粒膜的磁畴结构观测 | 第52-54页 |
| 4．6 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 Fe离子注入NiFeCo/Ag颗粒膜巨磁电阻效应 | 第55-64页 |
| 5．1 未注入Fe离子的NiFeCo/Ag颗粒膜巨磁电阻效应分析 | 第55-58页 |
| 5．1．1 磁性组分对NiFeCo/Ag颗粒膜巨磁电阻效应的影响 | 第55-57页 |
| 5．1．2 退火温度对NiFeCo/Ag颗粒膜巨磁电阻效应的影响 | 第57-58页 |
| 5．2 Fe离子注入NiFeCo/Ag颗粒膜巨磁电阻效应分析 | 第58-62页 |
| 5．2．1 Fe离子注入增强NiFeCo/Ag颗粒膜巨磁电阻效应 | 第58-59页 |
| 5．2．2 磁性组分对离子注入NiFeCo/Ag颗粒膜巨磁电阻效应的影响 | 第59-60页 |
| 5．2．3 退火温度对Fe离子注入NiFeCo/Ag颗粒膜巨磁电阻效应的影响 | 第60-62页 |
| 5．3 注入Fe离子的NiFeCo/Ag颗粒膜的磁性分析 | 第62-63页 |
| 5．4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 Co离子注入NiFeCo/Ag颗粒膜巨磁电阻效应的研究 | 第64-71页 |
| 6．1 注入Co离子增强NiFeCo/Ag颗粒膜巨磁电阻效应 | 第64页 |
| 6．2 磁性组分对注入Co离子的NiFeCo/Ag颗粒膜巨磁电阻效应的影响 | 第64-66页 |
| 6．3 退火温度对注入Co离子的NiFeCo/Ag颗粒膜巨磁电阻效应的影响 | 第66页 |
| 6．4 注入Co离子的NiFeCo/Ag颗粒膜的磁性分析 | 第66-68页 |
| 6．5 不同注入离子对颗粒膜巨磁电阻效应与磁性的影响 | 第68-69页 |
| 6．6 本章小结 | 第69-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 本文的特色与创新之处 | 第73-74页 |
| 对进一步研究NiFeCo/Ag系统巨磁电阻效应的建议 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
