| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| ·微细加工技术概述 | 第13-14页 |
| ·微细特种加工技术概述 | 第14-16页 |
| ·超声微细加工和电解微细加工技术研究现状 | 第16-20页 |
| ·超声微细加工技术 | 第16-18页 |
| ·电解微细加工技术 | 第18-20页 |
| ·超声电解复合微细加工研究 | 第20-21页 |
| ·本论文课题研究的目的和任务安排 | 第21-23页 |
| 第二章 超声电解复合微细加工机理及技术优势 | 第23-37页 |
| ·超声加工 | 第23-27页 |
| ·超声加工原理 | 第23-24页 |
| ·超声微细加工的特点 | 第24-25页 |
| ·超声加工的工艺规律 | 第25-27页 |
| ·电解加工 | 第27-33页 |
| ·电解加工原理 | 第27-28页 |
| ·电解加工的特点 | 第28-29页 |
| ·电解液参数 | 第29-31页 |
| ·脉冲电流电解加工 | 第31-32页 |
| ·超声频振动复合电解加工 | 第32-33页 |
| ·超声电解复合微细加工 | 第33-36页 |
| ·超声电解复合加工机理 | 第33-35页 |
| ·技术优势 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 超声电解复合微细加工试验系统 | 第37-50页 |
| ·超声振动单元 | 第37-42页 |
| ·工作台进给运动单元 | 第42-43页 |
| ·电解加工单元 | 第43-44页 |
| ·测量控制单元 | 第44-46页 |
| ·微位移的测量与控制 | 第44页 |
| ·超声振幅的测量与控制 | 第44-45页 |
| ·电解加工电流测量与分析装置 | 第45-46页 |
| ·超声振动脉冲电流电解同步单元 | 第46-49页 |
| ·同步构想 | 第46-47页 |
| ·同步脉冲电流电解加工电源的设计 | 第47-48页 |
| ·实施难点 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 微细阴极工具头的设计与制作 | 第50-61页 |
| ·阴极工具头工作要求 | 第50-51页 |
| ·阴极工具头设计 | 第51-54页 |
| ·阴极工具头材料选择 | 第54页 |
| ·阴极工具头加工制作 | 第54-60页 |
| ·加工制作方法 | 第55-57页 |
| ·加工设备 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 加工试验及结果分析 | 第61-85页 |
| ·试验参数初步选择 | 第63-65页 |
| ·工作液 | 第63页 |
| ·阴极工具头超声振动频率及振幅 | 第63-64页 |
| ·脉冲电流电解加工电源参数 | 第64页 |
| ·进给压力 | 第64-65页 |
| ·试验方案 | 第65页 |
| ·单一超声微细加工试验 | 第65-68页 |
| ·微细孔成形试验 | 第65-66页 |
| ·微细筋成形试验 | 第66页 |
| ·微细槽成形试验（1） | 第66页 |
| ·微细槽成形试验（2） | 第66-68页 |
| ·脉冲电流电解加工、超声频振动复合电解加工及超声电解复合微细加工对比试验 | 第68-74页 |
| ·脉冲电流电解加工试验 | 第68-69页 |
| ·超声频振动复合电解加工试验 | 第69-70页 |
| ·超声电解复合微细加工试验 | 第70-74页 |
| ·超声电解复合微细加工方法的深入试验研究 | 第74-83页 |
| ·脉冲电压对复合加工效果的影响 | 第74-81页 |
| ·变幅杆的有无对复合加工效果的影响 | 第81-82页 |
| ·电解液质量分数对复合加工效果的影响 | 第82页 |
| ·进给压力对复合加工效果的影响 | 第82-83页 |
| ·微小齿轮试件的超声电解复合微细加工成形试验 | 第83-84页 |
| ·内齿轮阴极工具头端部的设计制作 | 第83-84页 |
| ·微小齿轮试件的复合微细加工成形试验 | 第84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 第六章 总结与展望 | 第85-87页 |
| ·工作总结 | 第85页 |
| ·工作展望 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-91页 |
| 致谢 | 第91-92页 |
| 在学期间取得的成果及发表的论文 | 第92页 |