| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| ·MEMS传感器发展及应用前景概述 | 第11-15页 |
| ·MEMS传感器发展概述 | 第11-14页 |
| ·MEMS技术未来的发展趋势概述 | 第14-15页 |
| ·MEMS集成传感器发展与研究现状 | 第15-21页 |
| ·MEMS集成传感器研究现状 | 第15-16页 |
| ·单片集成MEMS的主要技术现状 | 第16-21页 |
| ·本课题的研究目的及意义 | 第21-22页 |
| ·论文内容安排 | 第22-23页 |
| 第二章 单芯片集成传感器的原理设计 | 第23-36页 |
| ·单芯片双惯性集成传感器的原理设计 | 第23-33页 |
| ·线加速度传感器的工作原理 | 第23-27页 |
| ·电容式角加速度传感器的工作原理 | 第27-30页 |
| ·线加速度与角架速率集成检测的原理设计 | 第30-33页 |
| ·电容驱动、检测原理设计 | 第33-34页 |
| ·静电力原理 | 第34-35页 |
| 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 单芯片双惯性集成传感器的结构设计 | 第36-62页 |
| ·单芯片双惯性集成传感器结构的确定 | 第36-43页 |
| ·最初结构形式 | 第36-37页 |
| ·新结构形式 | 第37-40页 |
| ·结构尺寸的确定 | 第40-43页 |
| ·集成传感器关键参数研究 | 第43-55页 |
| ·单芯片集成传感器振动模态研究 | 第44-49页 |
| ·单芯片集成传感器动力学研究 | 第49-55页 |
| ·单芯片双惯性集成传感器仿真分析 | 第55-61页 |
| ·Ansys仿真分析 | 第55-58页 |
| ·系统方程Matlab-simulink仿真分析 | 第58-61页 |
| 本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 单芯片集成传感器的耦合及误差分析 | 第62-72页 |
| ·单芯片集成传感器的耦合分析 | 第62-65页 |
| ·机械耦合的产生与消除 | 第62-63页 |
| ·Z向运动对X、Y向的影响 | 第63页 |
| ·X、Y向运动对Z向的影响 | 第63-64页 |
| ·非加速度检测方向的加速度耦合分析 | 第64-65页 |
| ·误差的分析 | 第65-71页 |
| ·正交误差及其影响 | 第65-67页 |
| ·误差补偿技术 | 第67页 |
| ·寄生哥氏力 | 第67-68页 |
| ·模态匹配 | 第68-69页 |
| ·信号处理对误差的影响 | 第69页 |
| ·噪声源影响 | 第69-70页 |
| ·加速度计压膜阻尼的分析 | 第70-71页 |
| 本章小结 | 第71-72页 |
| 第五章 单芯片双惯性集成传感器的工艺及加工研究 | 第72-81页 |
| ·单芯片双惯性集成传感器工艺流程与版图设计 | 第72-74页 |
| ·版图层定义 | 第72页 |
| ·工艺流程说明 | 第72-73页 |
| ·集成单芯片双惯性传感器版图设计规则 | 第73-74页 |
| ·集成单芯片双惯性传感器版图设计 | 第74-79页 |
| ·版图设计 | 第74-76页 |
| ·关键工艺研究 | 第76-79页 |
| ·单芯片集成双惯性传感器的封装 | 第79-80页 |
| 本章小结 | 第80-81页 |
| 第六章 单芯片双惯性集成传感器的接口电路设计及性能测试 | 第81-91页 |
| ·线加速度检测电路设计 | 第81-83页 |
| ·传感器线速度检测性能测试 | 第83-84页 |
| ·角加速度驱动和检测电路设计 | 第84-87页 |
| ·集成传感器角速度检测性能测试 | 第87-90页 |
| 本章小结 | 第90-91页 |
| 第七章 结论与展望 | 第91-93页 |
| ·论文的主要内容及结论 | 第91-92页 |
| ·进一步的工作建议 | 第92-93页 |
| 附录 | 第93-98页 |
| 参考文献 | 第98-103页 |
| 致谢 | 第103-104页 |
| 攻读硕士学位期间所取得的成果 | 第104-105页 |