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碳基薄膜材料的制备与场发射特性研究

提要第1-8页
第一章 绪论第8-46页
   ·引言第8-9页
   ·场发射材料第9-17页
     ·难熔金属和 Si基材料第9-13页
     ·碳材料第13-15页
     ·氮化硼(BN)、氮化镓(GaN)、和氧化锌(ZnO)第15-17页
   ·场发射理论第17-25页
     ·金属的场致电子发射理论第17-22页
       ·金属尖端的外场致电子发射第17-19页
       ·场致电子发射的定性解释第19-20页
       ·场致电子发射的定量计算第20-22页
     ·半导体的场致电子发射理论第22-25页
       ·半导体的外场致电子发射第22-24页
       ·半导体的内场致发射第24-25页
   ·碳基场发射材料的研究进展第25-38页
     ·碳纳米管第25-34页
     ·金刚石第34-37页
     ·非晶碳第37-38页
   ·本论文的选题依据及研究内容第38-39页
 本章小结第39页
 参考文献第39-46页
第二章 碳纳米管薄膜的制备和场发射特性研究第46-74页
   ·引言第46-47页
   ·碳纳米管的制备与表征方法第47-54页
     ·PECVD实验设备及原理介绍第47-49页
     ·基底的处理第49页
     ·催化剂的制备第49页
     ·碳纳米管的制备条件第49-50页
     ·碳纳米管的表征第50-54页
   ·PECVD沉积参数对碳纳米管结构的影响第54-57页
     ·温度的影响第54-55页
     ·气压的影响第55-57页
   ·催化剂对碳纳米管结构及场发射性能的影响第57-62页
     ·Fe,Co,Ni催化剂合成碳纳米管的表面形貌和微结构第57-60页
     ·Fe,Co,Ni催化剂合成碳纳米管的场发射性能第60-62页
   ·过渡层对碳纳米管结构及场发射性能的影响第62-69页
     ·Nb、Ni、Al和 Ti过渡层上生长碳纳米管的表面形貌第62-64页
     ·Nb、Ni、Al和 Ti过渡层上生长碳纳米管的微结构第64-66页
     ·Nb、Ni、Al和 Ti过渡层上生长碳纳米管的场发射性能第66-69页
 本章小结第69-70页
 参考文献第70-74页
第三章 内壁结晶、外壁非晶新型碳纳米管的制备与场发射特性研究第74-86页
   ·引言第74页
   ·内壁结晶、外壁非晶碳纳米管的制备方法第74-75页
   ·内壁结晶、外壁非晶碳纳米管的结构第75-78页
   ·内壁结晶、外壁非晶碳纳米管的生长机制第78-80页
   ·内壁结晶、外壁非晶碳纳米管的场发射特性第80-82页
 本章小结第82-83页
 参考文献第83-86页
第四章 非晶碳薄膜的制备与场发射特性研究第86-122页
   ·引言第86-87页
   ·非晶碳薄膜的制备第87-89页
     ·磁控溅射系统及其原理简介第87-89页
     ·非晶碳薄膜的沉积条件第89页
   ·沉积参数对非晶碳薄膜的结构及场发射性能的影响第89-93页
   ·铌过渡层对非晶碳薄膜场发射性能的影响第93-103页
     ·铌-非晶碳接触对场发射的影响第93-101页
     ·铌层厚度的影响第101-103页
   ·碳化铌过渡层对非晶碳场发射性能的影响第103-117页
     ·碳化铌相结构的影响第104-111页
     ·碳化铌化学键合的影响第111-117页
 本章小结第117-118页
 参考文献第118-122页
第五章 结论第122-124页
攻读博士学位期间发表的论文第124-125页
中文摘要第125-128页
ABSTRACT第128-131页
致谢第131页

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