| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-30页 |
| ·超光滑表面制造 | 第11-13页 |
| ·微机电系统与其中的摩擦学问题 | 第13-20页 |
| ·微机电系统概论 | 第13-16页 |
| ·微机电系统中的摩擦学问题 | 第16-20页 |
| ·单晶硅摩擦学问题研究现状 | 第20-24页 |
| ·速度对材料响应的研究现状 | 第24-28页 |
| ·论文意义及内容 | 第28-30页 |
| ·论文研究意义 | 第28页 |
| ·论文主要研究内容 | 第28-30页 |
| 第2章 实验材料和方法 | 第30-41页 |
| ·实验材料 | 第30-32页 |
| ·实验装置 | 第32-36页 |
| ·纳米划痕仪 | 第32-33页 |
| ·原子力显微镜 | 第33-34页 |
| ·立式液压伺服磨损实验机 | 第34-35页 |
| ·三维形貌仪 | 第35-36页 |
| ·实验方法 | 第36-39页 |
| ·微观划痕实验 | 第36-38页 |
| ·宏观划痕实验 | 第38-39页 |
| ·微观分析方法 | 第39-41页 |
| ·单晶硅宏观损伤剖面表征方法 | 第39-40页 |
| ·单晶硅宏观损伤表面表征方法 | 第40-41页 |
| 第3章 不同晶面取向的单晶硅摩擦磨损性能研究 | 第41-50页 |
| ·微观下不同晶面取向的单晶硅磨损 | 第41-48页 |
| ·不同晶面取向的单晶硅变载划痕损伤 | 第41-44页 |
| ·不同晶面取向的单晶硅定载划痕损伤 | 第44-48页 |
| ·宏观下不同晶面取向的单晶硅磨损 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 滑动速度对单晶硅在不同接触尺度下磨损的影响规律 | 第50-58页 |
| ·滑动速度对单晶硅微观磨损的影响规律 | 第50-52页 |
| ·滑动速度对单晶硅宏观磨损的影响规律 | 第52-55页 |
| ·不同接触尺度下滑动速度对单晶硅摩擦磨损的影响 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 结论与展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65页 |