| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·本文的研究领域及研究背景 | 第8-13页 |
| ·MEMS技术的基本概念及特点 | 第8-9页 |
| ·MEMS技术在军事中的应用 | 第9-10页 |
| ·MEMS技术在引信中的应用 | 第10-12页 |
| ·MEMS引信安全与解除保险装置的研究背景及意义 | 第12-13页 |
| ·MEMS引信安全与解除保险装置的发展状况 | 第13-15页 |
| ·国内外MEMS引信安全与解除保险装置研究状况 | 第13页 |
| ·典型的MEMS引信安全与解除保险装置的分析 | 第13-15页 |
| ·本文主要研究工作 | 第15-16页 |
| 2 MEMS引信安全与解除保险装置的总体结构设计 | 第16-43页 |
| ·MEMS引信安全与解除保险装置的总体设计 | 第16-18页 |
| ·MEMS引信安全与解除保险装置的设计思路 | 第16-18页 |
| ·MEMS引信安全与解除保险装置的作用过程 | 第18页 |
| ·MEMS隔爆机构中微弹簧的设计 | 第18-23页 |
| ·各种微弹簧刚度推导结果 | 第19-21页 |
| ·微弹簧的选择 | 第21页 |
| ·"S"型微弹簧的参数分析 | 第21-23页 |
| ·MEMS隔爆机构的初期设计 | 第23-25页 |
| ·初期设计方案 | 第23-24页 |
| ·初期设计存在的问题 | 第24-25页 |
| ·MEMS引信安全与解除保险机构的设计 | 第25-35页 |
| ·解决大位移下弹簧的横向偏移问题 | 第27-28页 |
| ·滑块弹簧的设计 | 第28-30页 |
| ·锁销弹簧的设计 | 第30-33页 |
| ·滑块的设计 | 第33页 |
| ·锁销的设计 | 第33-34页 |
| ·其它设计 | 第34-35页 |
| ·MEMS隔爆机构的仿真 | 第35-40页 |
| ·CoventorWare软件简介 | 第35-36页 |
| ·滑块的静力学仿真 | 第36-37页 |
| ·锁销的静力学仿真 | 第37-38页 |
| ·跌落冲击仿真 | 第38-39页 |
| ·模态分析 | 第39-40页 |
| ·最终完成的MEMS隔爆机构设计 | 第40-41页 |
| ·数字化样机的设计 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 3 MEMS隔爆机构的微驱动器设计 | 第43-52页 |
| ·微驱动器的基本类型 | 第43页 |
| ·电磁驱动器的选择 | 第43-46页 |
| ·电磁驱动器的设计 | 第46-51页 |
| ·电磁吸力理论计算 | 第47-49页 |
| ·电磁吸力仿真 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 4 MEMS隔爆机构的工艺技术 | 第52-59页 |
| ·LIGA技术 | 第52-54页 |
| ·UV-LIGA技术 | 第54-56页 |
| ·加工工艺的拟定 | 第56页 |
| ·加工工艺软件模拟 | 第56-58页 |
| ·物理样机的制备 | 第58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 5 MEMS隔爆机构的性能测试 | 第59-70页 |
| ·MEMS隔爆机构的微驱动实验 | 第59-63页 |
| ·电磁驱动器基本参数的测量 | 第59-61页 |
| ·方案一的MEMS引信安全与解除保险装置的微驱动实验 | 第61-62页 |
| ·方案二的MEMS引信安全与解除保险装置的微驱动实验 | 第62-63页 |
| ·拉力测试实验 | 第63-66页 |
| ·实验方法 | 第63-64页 |
| ·实验结果 | 第64-65页 |
| ·实验结果分析 | 第65-66页 |
| ·抗高过载冲击实验 | 第66-69页 |
| ·实验方法 | 第67页 |
| ·实验结果 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 6 总结 | 第70-73页 |
| ·论文总结 | 第70-71页 |
| ·论文创新点 | 第71页 |
| ·对今后工作的建议 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |