| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| ·微细切削加工的需求及意义 | 第8-10页 |
| ·微细切削刀具的制备方法及研究进展 | 第10-14页 |
| ·微细切削刀具的基本特征 | 第10-11页 |
| ·微细切削刀具的制备方法 | 第11-12页 |
| ·微细切削刀具制备技术的研究进展 | 第12-14页 |
| ·聚焦离子束技术在微加工领域的研究进展 | 第14-18页 |
| ·聚焦离子束技术概述 | 第14-15页 |
| ·聚焦离子束技术在微加工领域的研究进展 | 第15-18页 |
| ·选题背景及本论文的主要工作 | 第18-20页 |
| 第二章 聚焦离子束加工技术的基础研究 | 第20-35页 |
| ·聚焦离子束系统 | 第20-22页 |
| ·聚焦离子束系统的分类 | 第20页 |
| ·聚焦离子束系统的组成 | 第20-22页 |
| ·聚焦离子束加工原理 | 第22-23页 |
| ·离子溅射机理及模拟结果 | 第23-30页 |
| ·离子溅射的机理 | 第24-25页 |
| ·离子溅射的模拟方法 | 第25-27页 |
| ·离子溅射额产额的影响因素 | 第27-30页 |
| ·聚焦离子束的平滑铣削 | 第30-33页 |
| ·聚焦离子束的扫描方式 | 第31-32页 |
| ·影响离子束强度分布的因素 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 基于FIB 的微刀具制备及其加工性能的分析 | 第35-58页 |
| ·FIB 制备微刀具的系统平台设计 | 第35-39页 |
| ·基于FIB 铣削技术的微型车刀的制备 | 第39-45页 |
| ·刀坯的选择 | 第39-40页 |
| ·锋锐刃口的形成 | 第40-42页 |
| ·制备微刀具的加工流程 | 第42-45页 |
| ·微刀具用于超精密加工中的性能分析 | 第45-54页 |
| ·单点金刚石车削技术 | 第45-48页 |
| ·微刀具的超精密加工研究 | 第48-54页 |
| ·基于FIB 铣削技术的微铣刀的制备 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第四章 微刀具刃口半径的测量 | 第58-74页 |
| ·刀具刃口半径的测量方法 | 第58-60页 |
| ·基于AFM 扫描的微刀具刃口半径的测量 | 第60-70页 |
| ·基于AFM 测量微刀具刃口半径的原理 | 第60-61页 |
| ·探针形状和展宽效应的影响研究 | 第61-63页 |
| ·基于聚焦离子束的硅探针修整 | 第63-66页 |
| ·基于AFM 测量微刀具的刃口轮廓 | 第66-68页 |
| ·刃口半径的计算评定 | 第68-70页 |
| ·基于SEM 观测方法的微刀具刃口半径测量 | 第70-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第五章 基于FIB 制备的微刀具在微光学元件加工中的应用 | 第74-100页 |
| ·微光学元件及其加工技术 | 第74-77页 |
| ·微光学元件及其应用 | 第74-75页 |
| ·微光学元件的加工技术 | 第75-77页 |
| ·菲涅耳光学元件的设计及其加工 | 第77-86页 |
| ·菲涅耳光学元件的设计 | 第77-79页 |
| ·用于加工菲涅耳元件的微刀具设计 | 第79-81页 |
| ·基于FIB 技术的半球形微刀具的制备 | 第81-84页 |
| ·金刚石车削实现菲涅耳反射镜的加工 | 第84-86页 |
| ·衍射微光学元件的设计及其加工 | 第86-95页 |
| ·衍射光学元件的位相函数描述 | 第86-88页 |
| ·衍射光学元件的设计实例 | 第88-90页 |
| ·用于加工衍射微光学元件的微刀具的制备 | 第90-93页 |
| ·金刚石车削实现衍射微光学元件的加工 | 第93-95页 |
| ·微刀具应用于正弦调制模板的加工 | 第95-98页 |
| ·本章小结 | 第98-100页 |
| 第六章 总结及展望 | 第100-102页 |
| 参考文献 | 第102-110页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第110-111页 |
| 致谢 | 第111页 |