| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| ·纳机电系统 | 第8-9页 |
| ·NEMS器件的特点 | 第8页 |
| ·NEMS器件的应用 | 第8-9页 |
| ·NEMS 器件动态测试技术的研究现状 | 第9-19页 |
| ·NEMS器件动态测试的意义 | 第9页 |
| ·NEMS器件激励方法 | 第9-12页 |
| ·NEMS器件的动态特性测试方法 | 第12-19页 |
| ·论文完成的主要工作 | 第19-21页 |
| 第二章基于原子力显微镜的纳米梁谐振器离面振动测试理论 | 第21-44页 |
| ·纳米梁谐振器的制备与等效模型 | 第21-26页 |
| ·纳米梁谐振器的加工及封装 | 第21-24页 |
| ·纳米梁谐振器在静电激励下的等效模型 | 第24-26页 |
| ·基于原子力显微镜的测振原理 | 第26-29页 |
| ·扫描模式下原子力显微镜的测振原理 | 第26-28页 |
| ·力曲线模式下原子力显微镜的测振原理 | 第28-29页 |
| ·基于原子力显微镜测振的理论模型 | 第29-37页 |
| ·轻敲模式下原子力显微镜针尖与样品振动表面的作用模型 | 第30-34页 |
| ·轻敲扫描模式下原子力显微镜针尖受迫振动的仿真 | 第34-35页 |
| ·轻敲力曲线模式下原子力显微镜针尖受迫振动的仿真 | 第35-37页 |
| ·基于显微激光多普勒原理的测振技术 | 第37-42页 |
| ·激光多普勒速度测量原理 | 第37-38页 |
| ·显微激光多普勒测振的技术原理 | 第38-40页 |
| ·显微激光多普勒测振的光路系统 | 第40-42页 |
| ·原子力显微镜测振技术与显微激光多普勒测振技术的比较 | 第42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第三章多功能型原子力显微镜的测振结果与分析 | 第44-58页 |
| ·多功能型原子力显微镜在扫描模式下的测振方法与实验结果 | 第44-48页 |
| ·轻敲扫描模式下的测振方法 | 第44-46页 |
| ·轻敲扫描模式下的实验结果 | 第46-48页 |
| ·多功能型原子力显微镜在力曲线模式下的测振方法与实验结果 | 第48-51页 |
| ·轻敲力曲线模式下的测振方法 | 第48-49页 |
| ·轻敲力曲线模式下的实验结果 | 第49-51页 |
| ·多功能AFM测振结果与显微激光多普勒测振结果的比较 | 第51-57页 |
| ·显微激光多普勒测振的实验结果 | 第51-54页 |
| ·三种测振方法实验结果的比较及测量重复性分析 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第四章计量型原子力显微镜的力曲线功能 | 第58-66页 |
| ·计量型原子力显微镜增加力曲线功能的意义 | 第58页 |
| ·计量型原子力显微镜增加力曲线功能的方法 | 第58-60页 |
| ·计量型原子力显微镜增加力曲线功能的实现 | 第60-63页 |
| ·计量型原子力显微镜 | 第60-62页 |
| ·计量型原子力显微镜的力曲线功能模块 | 第62-63页 |
| ·利用计量型原子力显微镜的力曲线功能绘制力曲线 | 第63-65页 |
| ·实验操作方法 | 第63-64页 |
| ·力曲线的绘制 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章计量型原子力显微镜的测振结果与分析 | 第66-76页 |
| ·计量型原子力显微镜轻敲扫描模式下的测振结果 | 第66-68页 |
| ·计量型原子力显微镜轻敲力曲线模式下的测振结果 | 第68-71页 |
| ·计量型原子力显微镜测振实验的重复性 | 第71-73页 |
| ·五种测振方法实验结果的比较分析 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-76页 |
| 第六章总结与展望 | 第76-78页 |
| ·论文完成的主要工作 | 第76-77页 |
| ·工作展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-83页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84页 |
