新型微结构气体传感器设计分析及乙醇气敏元件的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| ·论文的研究背景 | 第11-12页 |
| ·气体传感器 | 第12-17页 |
| ·气体传感器的概述 | 第12-13页 |
| ·几种典型气体传感器 | 第13-16页 |
| ·气体传感器的未来发展 | 第16-17页 |
| ·气体敏感材料 | 第17-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第二章 微结构气体传感器及其关键技术 | 第21-28页 |
| ·微机电系统与微结构气体传感器 | 第21页 |
| ·微结构气体传感器的研究 | 第21-24页 |
| ·微热板的概述 | 第22-23页 |
| ·微热板的发展趋势 | 第23-24页 |
| ·微热板设计关键技术 | 第24-27页 |
| ·有限元模拟分析 | 第24-25页 |
| ·ANSYS 有限元分析软件 | 第25-26页 |
| ·ANSYS 分析软件的热分析 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 微热板结构设计及优化 | 第28-50页 |
| ·微热板中各材料参数的选定 | 第29-35页 |
| ·电极材料的选定 | 第29-32页 |
| ·隔热层的选定 | 第32-34页 |
| ·各材料层厚度的选定 | 第34-35页 |
| ·微热板在不同电极分布下的热分析 | 第35-44页 |
| ·具体电极分布下软件的热分析实例 | 第35-41页 |
| ·不同加热电极宽度的温度分析 | 第41-43页 |
| ·不同检测电极宽度与间隔的温度分析 | 第43-44页 |
| ·衬底结构的深入讨论 | 第44-47页 |
| ·衬底结构的优化分析 | 第44-46页 |
| ·传感器的响应分析和工作损耗 | 第46-47页 |
| ·其他电极形状的讨论 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 乙醇气敏元件的特性研究 | 第50-57页 |
| ·ZnO 气敏材料的制备与表征 | 第50-52页 |
| ·乙醇气敏元件的制作 | 第52-53页 |
| ·乙醇气敏元件的性能测试 | 第53-56页 |
| ·元件的工作温度特性 | 第53-54页 |
| ·元件的响应恢复特性 | 第54-55页 |
| ·元件的灵敏度-浓度特性 | 第55页 |
| ·元件的选择性 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 总结和展望 | 第57-60页 |
| ·论文总结 | 第57-59页 |
| ·未来展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 附录 各种材料的特性参数 | 第65-66页 |
| 作者简介及科研成果 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
