| 致谢 | 第1-7页 |
| 目次 | 第7-11页 |
| 摘要 | 第11-13页 |
| Abstract | 第13-16页 |
| 1 绪论 | 第16-31页 |
| ·湿度及湿敏传感器概述 | 第16-20页 |
| ·湿度定义及其表示方法 | 第16-17页 |
| ·湿度检测意义及重要性 | 第17-19页 |
| ·湿敏传感器主要特性参数 | 第19-20页 |
| ·湿敏传感器响应机理及分类 | 第20-24页 |
| ·电阻型湿敏传感器 | 第21-22页 |
| ·电容型湿敏传感器 | 第22页 |
| ·光学型湿敏传感器 | 第22-23页 |
| ·质量负载型湿敏传感器 | 第23-24页 |
| ·声表面波湿敏传感器 | 第24页 |
| ·声表面波传感器及其在湿度检测中的应用 | 第24-30页 |
| ·声表面波传感器基本原理 | 第24-26页 |
| ·声表面波器件基本结构及分类 | 第26-28页 |
| ·声表面波湿敏传感器研究进展 | 第28-29页 |
| ·声表面波湿敏传感器研究方向及发展趋势 | 第29-30页 |
| ·论文主要工作内容及章节安排 | 第30-31页 |
| 2 声表面波传感器扰动模型分析及器件仿真设计 | 第31-56页 |
| ·声表面波传感器扰动理论模型及响应机理剖析 | 第31-44页 |
| ·声波传播扰动理论模型 | 第31-34页 |
| ·声表面波传感器响应机理分析 | 第34-43页 |
| ·声表面波湿敏传感器设计要素 | 第43-44页 |
| ·声表面波单端谐振器建模与仿真 | 第44-49页 |
| ·声表面波的激发与检测 | 第44-45页 |
| ·SAWR器件COM模型求解 | 第45-47页 |
| ·SAWR等效电路模型求解 | 第47-49页 |
| ·声表面波单端谐振器设计与加工 | 第49-55页 |
| ·压电基底材料选择 | 第49-50页 |
| ·单端谐振器参数设计 | 第50-53页 |
| ·器件加工制备 | 第53-54页 |
| ·器件性能测试 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 3 新型微纳湿敏材料制备与合成技术研究 | 第56-70页 |
| ·湿敏材料概述 | 第56-61页 |
| ·湿敏材料分类与比较 | 第56-57页 |
| ·湿敏材料研究现状及发展趋势 | 第57-60页 |
| ·声表面波湿敏传感器湿敏材料设计要求 | 第60-61页 |
| ·Nafion/MWCNTs复合湿敏材料制备 | 第61-65页 |
| ·Nafion及MWCNTs湿敏特性分析 | 第61-63页 |
| ·Nafion/MWCNTs复合湿敏材料制备及表征 | 第63-65页 |
| ·氧化石墨烯湿敏材料制备 | 第65-69页 |
| ·石墨烯材料特性及湿敏机理研究 | 第65-66页 |
| ·氧化石墨烯湿敏材料制备及表征 | 第66-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 4 基于静电纺丝的一维纳米功能材料成膜技术研究 | 第70-82页 |
| ·纳米功能材料特性及制备方法 | 第70-71页 |
| ·纳米功能材料特性及分类 | 第70-71页 |
| ·纳米纤维薄膜制备技术 | 第71页 |
| ·静电纺丝技术及其在传感器中的应用 | 第71-75页 |
| ·静电纺丝基本原理 | 第71-73页 |
| ·静电纺丝装置及操作过程 | 第73-74页 |
| ·静电纺丝技术在传感器中的应用 | 第74-75页 |
| ·静电纺丝影响因素分析 | 第75-79页 |
| ·聚合物溶液参数 | 第75-76页 |
| ·纺丝装置及过程参数 | 第76-78页 |
| ·环境因素 | 第78-79页 |
| ·纳米湿敏薄膜成膜实验与讨论 | 第79-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 5 声表面波湿敏传感器性能实验与讨论 | 第82-105页 |
| ·实验方法及实验系统设计 | 第82-86页 |
| ·湿度控制方式 | 第82-83页 |
| ·检测电路设计 | 第83-86页 |
| ·检测仪器及测试方法 | 第86页 |
| ·Nafion/MWCNT复合材料湿敏特性实验 | 第86-99页 |
| ·串联式结构湿敏特性实验 | 第86-89页 |
| ·声表面波元件湿敏特性实验 | 第89-93页 |
| ·静电纺丝元件湿敏特性实验 | 第93-99页 |
| ·氧化石墨烯声表面波元件湿敏特性实验 | 第99-102页 |
| ·频谱及频率稳定性测试 | 第99-100页 |
| ·灵敏度及线性度测试 | 第100-101页 |
| ·重复性及长期稳定性测试 | 第101-102页 |
| ·实验结果分析与讨论 | 第102-103页 |
| ·本章小结 | 第103-105页 |
| 6 高频声表面波湿敏传感器标签化检测系统设计 | 第105-117页 |
| ·高频声表面波传感器有源检测电路设计 | 第105-108页 |
| ·双路混频检测电路设计 | 第105-106页 |
| ·中频信号放大电路设计 | 第106-107页 |
| ·整形及分频电路设计 | 第107-108页 |
| ·无线发射电路设计 | 第108页 |
| ·无线无源SAW湿敏传感器标签设计 | 第108-111页 |
| ·无线半无源SAW湿敏传感器标签设计 | 第111-116页 |
| ·无线半无源传感器标签设计思想 | 第111-112页 |
| ·射频唤醒技术研究 | 第112-114页 |
| ·无线半无源声表面波湿敏标签设计 | 第114-116页 |
| ·本章小结 | 第116-117页 |
| 7 声表面波湿敏传感器低湿及露点检测性能探究 | 第117-125页 |
| ·低湿及露点检测方法概述 | 第117-119页 |
| ·冷镜式露点仪 | 第117页 |
| ·电解法微量水分仪 | 第117-118页 |
| ·机械式湿度计 | 第118页 |
| ·干湿球湿度计 | 第118-119页 |
| ·声表面波湿敏传感器低湿检测实验 | 第119-122页 |
| ·实验系统及流程设计 | 第119-120页 |
| ·实验结果与讨论 | 第120-122页 |
| ·声表面波湿敏传感器露点检测实验 | 第122-124页 |
| ·本章小结 | 第124-125页 |
| 8 总结与展望 | 第125-128页 |
| ·本文主要研究工作及创新点 | 第125-126页 |
| ·研究展望 | 第126-128页 |
| 参考文献 | 第128-139页 |
| 攻读博士学位期间主要科研成果 | 第139-140页 |