新型栅结构双向MEMS惯性传感器研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| ·MEMS 技术概述 | 第11-12页 |
| ·MEMS 加速度计 | 第12-16页 |
| ·MEMS 加速度计概述 | 第12-13页 |
| ·加速度计的主要性能指标 | 第13页 |
| ·MEMS 加速度计的分类 | 第13-14页 |
| ·加速度计的发展趋势 | 第14-16页 |
| ·电容式MEMS 加速度计 | 第16-20页 |
| ·电容式加速度计概述 | 第16-18页 |
| ·电容式加速度计检测电路 | 第18-19页 |
| ·电容式加速度计的噪声 | 第19页 |
| ·电容边缘效应 | 第19-20页 |
| ·MEMS 制作工艺 | 第20-21页 |
| ·双轴加速度计 | 第21页 |
| ·论文的主要内容 | 第21-22页 |
| ·作者的主要工作 | 第22-23页 |
| 第2章 加速度计设计基本原理和结构设计 | 第23-35页 |
| ·加速度计基本模型 | 第23-24页 |
| ·器件基本结构 | 第24-30页 |
| ·支撑梁结构 | 第24-26页 |
| ·电容检测方式分析 | 第26-30页 |
| ·气体阻尼 | 第30-32页 |
| ·压膜阻尼 | 第30-31页 |
| ·滑膜阻尼 | 第31-32页 |
| ·气体阻尼小结 | 第32页 |
| ·静电力分析 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 加速度计结构设计和仿真 | 第35-44页 |
| ·加速度计的结构设计 | 第35-39页 |
| ·支撑梁结构的设计 | 第35-36页 |
| ·加速度计检测电容的设计 | 第36-37页 |
| ·阻尼调节梳齿的设计 | 第37-38页 |
| ·防冲击结构设计 | 第38-39页 |
| ·加速度计的仿真 | 第39-43页 |
| ·双轴加速度计的模态分析 | 第39-41页 |
| ·器件静态分析 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 加速度计电容边缘效应分析 | 第44-56页 |
| ·边缘效应概述 | 第44页 |
| ·边缘效应理论分析 | 第44-47页 |
| ·栅型结构边缘效应分析 | 第47-54页 |
| ·边缘效应对栅型结构电容值的影响 | 第47-48页 |
| ·考虑边缘效应时电容值随交叠长度的变化 | 第48-49页 |
| ·交叠宽度变化时边缘效应对电容值的影响 | 第49-51页 |
| ·栅型条厚度变化时边缘效应对电容值的影响 | 第51页 |
| ·极板宽度不同时边缘效应对电容值的影响 | 第51-52页 |
| ·栅型密度不同时边缘效应的影响 | 第52-53页 |
| ·不同栅型极板间距时电容边缘效应的变化 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第5章 加速度计版图设计、制作和初步测试 | 第56-69页 |
| ·器件版图设计 | 第56-58页 |
| ·MEMS 器件加工工艺 | 第58-59页 |
| ·加速度计工艺设计 | 第59-64页 |
| ·DRIE 工艺 | 第59-62页 |
| ·硅-玻璃键合工艺 | 第62-63页 |
| ·加速度计制作的其它工艺 | 第63-64页 |
| ·加速度计器件的工艺流程 | 第64页 |
| ·器件的制作 | 第64-66页 |
| ·器件的初步测试 | 第66-67页 |
| ·加速度计静态测试 | 第66-67页 |
| ·栅型结构阻尼特性测试 | 第67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 第6章 总结和展望 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 附录 | 第75-76页 |
| 详细摘要 | 第76-79页 |
