| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·ZnO的晶体结构 | 第7-8页 |
| ·ZnO的光学性质 | 第8-9页 |
| ·ZnO的电学性质 | 第9-10页 |
| ·ZnO其它性质 | 第10-11页 |
| ·ZnO主要应用 | 第11-12页 |
| ·本论文主要工作 | 第12-13页 |
| 第二章 ZnO薄膜制备和紫外光探测的研究进展 | 第13-20页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第13-17页 |
| ·ZnO紫外探测器的研究进展 | 第17-20页 |
| 第三章 磁控溅射制备ZnO薄膜和薄膜性质研究 | 第20-36页 |
| ·射频磁控溅射的基本原理 | 第20-21页 |
| ·ZnO薄膜的制备工艺 | 第21-22页 |
| ·不同溅射电压下ZnO薄膜的性质研究 | 第22-27页 |
| ·不同O/Ar比例下ZnO薄膜性质研究 | 第27-36页 |
| 第四章 ZnO紫外光探测器的制备和性质研究 | 第36-43页 |
| ·ZnO紫外探测的原理 | 第36-37页 |
| ·Al/ZnO/Al型光导型探测器及探测器性能测试 | 第37-40页 |
| ·p-NiO/n-ZnO光伏型探测器 | 第40-41页 |
| ·p-NiO/n-ZnO光伏型探测器性能测试 | 第41-43页 |
| 结论 | 第43-44页 |
| 致谢 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-47页 |