| 摘要 | 第3-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 金属氮化物硬质薄膜的发展现状 | 第9-13页 |
| 1.2.1 简单二元及多元金属氮化物薄膜 | 第9-10页 |
| 1.2.2 金属氮化物纳米晶复合薄膜 | 第10-11页 |
| 1.2.3 金属氮化物纳米多层膜 | 第11-13页 |
| 1.3 硬质纳米多层膜的致硬机理和摩擦学性能 | 第13-14页 |
| 1.3.1 硬质纳米多层膜的致硬机理 | 第13-14页 |
| 1.3.2 硬质多层膜的摩擦学性能 | 第14页 |
| 1.4 硬质薄膜的制备方法 | 第14-16页 |
| 1.4.1 化学气相沉积 | 第15页 |
| 1.4.2 物理气相沉积 | 第15-16页 |
| 1.5 本文的研究意义及主要内容 | 第16-19页 |
| 2 薄膜的制备及表征 | 第19-27页 |
| 2.1 薄膜制备 | 第19-21页 |
| 2.1.1 镀膜设备 | 第19-20页 |
| 2.1.2 基体选择与准备 | 第20-21页 |
| 2.1.3 TiN/NbN纳米多层膜的制备 | 第21页 |
| 2.2 薄膜的物相结构表征 | 第21-23页 |
| 2.2.1 X射线衍射(XRD)分析 | 第21-22页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜(SEM)观察与分析 | 第22页 |
| 2.2.3 透射电子显微镜(TEM)观察与分析 | 第22页 |
| 2.2.4 原子力显微分析(AFM) | 第22-23页 |
| 2.3 薄膜的性能测试 | 第23-27页 |
| 2.3.1 镀层结合力的测定 | 第23-24页 |
| 2.3.2 纳米压痕实验 | 第24-25页 |
| 2.3.3 摩擦磨损性能测试 | 第25-27页 |
| 3 不同调制周期TiN/NbN纳米多层膜的微观组织与性能分析 | 第27-43页 |
| 3.1 不同调制周期TiN/NbN纳米多层膜的微观组织分析 | 第27-34页 |
| 3.1.1 XRD结果与分析 | 第27-29页 |
| 3.1.2 SEM结果观察与分析 | 第29-30页 |
| 3.1.3 TEM结果观察与分析 | 第30-33页 |
| 3.1.4 AFM结果观察与分析 | 第33-34页 |
| 3.2 不同调制周期TiN/NbN纳米多层膜的力学及摩擦学性能 | 第34-41页 |
| 3.2.1 不同调制周期TiN/NbN纳米多层膜的硬度与弹性模量表征 | 第34-36页 |
| 3.2.2 不同调制周期TiN/NbN纳米多层膜的膜基结合强度表征 | 第36-38页 |
| 3.2.3 不同调制周期TiN/NbN纳米多层膜摩擦磨损性能表征 | 第38-41页 |
| 3.3 本章小结 | 第41-43页 |
| 4 不同调制比TiN/NbN纳米多层膜微观组织与性能分析 | 第43-57页 |
| 4.1 不同Nb靶电流下TiN/NbN纳米多层膜的微观组织分析 | 第43-51页 |
| 4.1.1 XRD结果与分析 | 第43-45页 |
| 4.1.2 SEM结果观察与分析 | 第45-46页 |
| 4.1.3 TEM结果观察与分析 | 第46-49页 |
| 4.1.4 AFM结果观察与分析 | 第49-51页 |
| 4.2 不同Nb靶电流下TiN/NbN纳米多层膜的力学及摩擦学性能 | 第51-55页 |
| 4.2.1 不同Nb靶电流下TiN/NbN纳米多层膜的硬度与弹性模量表征 | 第51页 |
| 4.2.2 不同Nb靶电流下TiN/NbN纳米多层膜的膜基结合强度表征 | 第51-52页 |
| 4.2.3 不同Nb靶电流下TiN/NbN纳米多层膜的擦磨损性能表征 | 第52-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-57页 |
| 5 TiN/NbN纳米多层膜的生长行为及摩擦磨损机制 | 第57-63页 |
| 5.1 TiN/NbN纳米多层膜微结构变化与生长行为的讨论 | 第57-59页 |
| 5.2 TiN/NbN纳米多层膜致硬机理的探讨 | 第59-60页 |
| 5.3 TiN/NbN纳米多层膜摩擦磨损失效分析 | 第60-63页 |
| 6 结论 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
