| 中文摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-30页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·纳米压印技术 | 第11-19页 |
| ·纳米压印技术的分类 | 第12-16页 |
| ·模板和抗粘层的制备 | 第16-18页 |
| ·影响图形精度的因素 | 第18-19页 |
| ·纳米压印技术的应用 | 第19-25页 |
| ·纳米器件 | 第19-22页 |
| ·纳米光栅和光子晶体 | 第22-25页 |
| ·纳米点、线、管 | 第25页 |
| ·目前研究的现状及存在的问题 | 第25-26页 |
| ·本文选题和研究目的 | 第26-27页 |
| 参考文献 | 第27-30页 |
| 第二章 纳米压印工艺的初步建立 | 第30-48页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·阻挡层的制备 | 第30-35页 |
| ·基底的清洗 | 第31-32页 |
| ·压印胶的旋涂 | 第32-35页 |
| ·热压印模板的选择 | 第35-40页 |
| ·热压印过程 | 第40-43页 |
| ·光栅的压印与分析 | 第41-42页 |
| ·光盘的压印与分析 | 第42-43页 |
| ·图案的转移 | 第43-45页 |
| ·反应离子刻蚀技术(Reactive Ion Etching, RIE) | 第43-44页 |
| ·金属化 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-48页 |
| 第三章 利用纳米压印技术复制荷叶的表面结构 | 第48-58页 |
| ·引言 | 第48-49页 |
| ·实验部分 | 第49-50页 |
| ·荷叶的表征及直接压印 | 第49页 |
| ·利用离子束溅射技术在荷叶表面沉积无机膜 | 第49-50页 |
| ·镀膜后荷叶的疏水性质表征 | 第50页 |
| ·镀膜后荷叶的压印 | 第50页 |
| ·结果与讨论 | 第50-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 第四章 聚二甲基硅氧烷模板的压印 | 第58-69页 |
| ·引言 | 第58-59页 |
| ·实验部分 | 第59-60页 |
| ·聚二甲基硅氧烷（PDMS）的制备和复制原始模板过程 | 第59页 |
| ·氧化锌溶胶的制备 | 第59页 |
| ·热压印过程 | 第59-60页 |
| ·结果与讨论 | 第60-67页 |
| ·光盘的表面形貌与分析 | 第60-61页 |
| ·复制光盘后PDMS 的表面形貌与分析 | 第61页 |
| ·阻挡层为PMMA 的压印结果 | 第61-62页 |
| ·阻挡层为ZnO 溶胶的压印结果与分析 | 第62-66页 |
| ·其他特殊结构表面的复制 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-69页 |
| 工作总结和展望 | 第69-70页 |
| 硕士期间发表的论文和已完成的工作 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |