| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第19-33页 |
| 1.1 课题来源 | 第19页 |
| 1.2 研究背景及意义 | 第19-20页 |
| 1.3 高速高精度运动平台的发展历程和现状 | 第20-27页 |
| 1.3.1 高速高精度运动平台的发展历程 | 第20-21页 |
| 1.3.2 高速高精度运动平台的发展现状 | 第21-23页 |
| 1.3.3 高速高精度运动平台的两种驱动平台 | 第23-26页 |
| 1.3.4 高速高精度运动平台对于速度和精度的要求 | 第26-27页 |
| 1.4 高速高精度运动平台常见误差概述 | 第27-29页 |
| 1.4.1 几何误差 | 第27-28页 |
| 1.4.2 非线性力导致的误差 | 第28-29页 |
| 1.5 高速高精度运动平台精度补偿控制方法概述 | 第29-31页 |
| 1.6 论文研究内容及章节安排 | 第31-33页 |
| 第2章 高速高精度运动平台及其误差特性分析 | 第33-45页 |
| 2.1 引言 | 第33页 |
| 2.2 间接驱动平台 | 第33-36页 |
| 2.2.1 滚珠丝杠力传动系统 | 第34-35页 |
| 2.2.2 位移速度测量系统 | 第35-36页 |
| 2.2.3 旋转电机实时仿真控制系统 | 第36页 |
| 2.3 直接驱动平台 | 第36-38页 |
| 2.3.1 直线电机驱动系统 | 第36-37页 |
| 2.3.2 位移速度测量系统 | 第37-38页 |
| 2.3.3 直线电机实时仿真控制系统 | 第38页 |
| 2.4 高速高精度运动平台误差的来源及分类 | 第38-39页 |
| 2.4.1 机械几何误差 | 第38-39页 |
| 2.4.2 控制系统误差 | 第39页 |
| 2.5 高速高精度运动平台误差的特性分析 | 第39-44页 |
| 2.5.1 几何误差分析 | 第39-40页 |
| 2.5.2 非线性力导致的误差分析 | 第40-44页 |
| 2.6 本章小结 | 第44-45页 |
| 第3章 高速高精度运动平台几何误差的测量与分析 | 第45-56页 |
| 3.1 引言 | 第45页 |
| 3.2 误差评定标准 | 第45-46页 |
| 3.2.1 位置偏差 | 第45页 |
| 3.2.2 定位精度 | 第45-46页 |
| 3.2.3 重复定位精度 | 第46页 |
| 3.3 测量系统及测量条件 | 第46-47页 |
| 3.3.1 Renishaw激光干涉仪系统 | 第46-47页 |
| 3.3.2 测量条件 | 第47页 |
| 3.4 几何误差测量现场 | 第47-48页 |
| 3.4.1 测量点循环方式 | 第47页 |
| 3.4.2 测量点选取 | 第47-48页 |
| 3.5 几何误差测量结果及分析 | 第48-55页 |
| 3.5.1 几何误差测量结果 | 第48-54页 |
| 3.5.2 几何误差测量结果分析 | 第54-55页 |
| 3.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 第4章 高速高精度运动平台几何误差补偿方案的设计和补偿结果分析 | 第56-63页 |
| 4.1 引言 | 第56页 |
| 4.2 几何误差补偿方案 | 第56-57页 |
| 4.2.1 几何误差补偿方式 | 第56-57页 |
| 4.2.2 几何误差补偿系统 | 第57页 |
| 4.3 几何误差补偿实验及结果分析 | 第57-62页 |
| 4.3.1 几何误差补偿值计算方法 | 第57-58页 |
| 4.3.2 几何误差补偿实验 | 第58-62页 |
| 4.3.3 几何误差补偿结果分析 | 第62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 基于非线性力误差补偿的自适应鲁棒控制理论研究 | 第63-96页 |
| 5.1 引言 | 第63-64页 |
| 5.2 基于非线性摩擦力误差补偿的间接驱动平台的自适应鲁棒控制 | 第64-79页 |
| 5.2.1 间接驱动平台的动态模型 | 第64-69页 |
| 5.2.2 基于非线性摩擦力误差补偿的自适应鲁棒控制 | 第69-73页 |
| 5.2.3 半实物在线仿真实验 | 第73-78页 |
| 5.2.4 小结 | 第78-79页 |
| 5.3 基于端部效应补偿的直接驱动平台的自适应鲁棒位置/推力跟踪控制 | 第79-95页 |
| 5.3.1 直线电机建模 | 第79-80页 |
| 5.3.2 直线电机端部效应分析 | 第80-81页 |
| 5.3.3 考虑端部效应的直线电机建模 | 第81-84页 |
| 5.3.4 控制交流电机转矩和磁链的两种算法 | 第84-86页 |
| 5.3.5 基于端部效应补偿的自适应鲁棒位置/推力跟踪控制 | 第86-90页 |
| 5.3.6 实验分析 | 第90-94页 |
| 5.3.7 小结 | 第94-95页 |
| 5.4 本章小结 | 第95-96页 |
| 第6章 基于非线性力误差及几何误差综合补偿的自适应鲁棒控制 | 第96-110页 |
| 6.1 综合非线性力及几何误差的直接驱动平台建模 | 第96-98页 |
| 6.1.1 非线性电磁力建模 | 第96-97页 |
| 6.1.2 摩擦力建模 | 第97页 |
| 6.1.3 定位力建模 | 第97-98页 |
| 6.1.4 几何误差建模 | 第98页 |
| 6.1.5 直接驱动平台建模 | 第98页 |
| 6.2 基于非线性力误差及几何误差综合补偿的自适应鲁棒控制算法 | 第98-101页 |
| 6.3 实验及结果分析 | 第101-109页 |
| 6.3.1 仿真实验 | 第101-104页 |
| 6.3.2 半实物在线仿真实验 | 第104-109页 |
| 6.4 本章小结 | 第109-110页 |
| 第7章 总结与展望 | 第110-113页 |
| 7.1 论文总结 | 第110-111页 |
| 7.2 论文创新点 | 第111-112页 |
| 7.3 未来工作展望 | 第112-113页 |
| 参考文献 | 第113-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的研究成果 | 第124页 |
