准分子激光辅助微铣削加工有机玻璃微通道的实验研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.1.1 微流控芯片技术的发展与应用 | 第9-10页 |
| 1.1.2 激光辅助微铣削技术的发展与应用 | 第10-11页 |
| 1.2 激光辅助微铣削技术国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第13-15页 |
| 1.2.3 国内外文献分析 | 第15页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 准分子激光辅助微铣削的材料去除机理 | 第17-27页 |
| 2.1 准分子激光 | 第17-20页 |
| 2.1.1 准分子激光的特性 | 第17页 |
| 2.1.2 准分子激光刻蚀聚合物材料的特点 | 第17-18页 |
| 2.1.3 激光与聚合物相互作用理化模型 | 第18-20页 |
| 2.2 激光辅助微铣削传热机理 | 第20-23页 |
| 2.2.1 激光辐射作用对温度场的影响 | 第21-23页 |
| 2.2.2 剪切作用对温度场的影响 | 第23页 |
| 2.3 最小切削厚度 | 第23-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-27页 |
| 第3章 准分子激光辅助微铣削加工系统设计 | 第27-37页 |
| 3.1 激光辅助微铣削加工系统设计要求 | 第27-28页 |
| 3.2 激光辅助微铣削加工系统方案设计 | 第28-29页 |
| 3.2.1 加工系统技术参数 | 第28页 |
| 3.2.2 加工系统组成及配置 | 第28-29页 |
| 3.3 激光辅助微铣削加工系统零部件选用 | 第29-36页 |
| 3.3.1 精密位移模块 | 第29-30页 |
| 3.3.2 微铣刀及电主轴模块 | 第30-35页 |
| 3.3.3 在线视觉检测模块 | 第35页 |
| 3.3.4 激光辅助模块 | 第35-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 激光辅助微铣削加工有机玻璃微通道实验研究 | 第37-61页 |
| 4.1 实验设备与检测设备 | 第37-40页 |
| 4.1.1 实验材料及处理方法 | 第37页 |
| 4.1.2 实验装置及研究方法 | 第37-39页 |
| 4.1.3 表面粗糙度测量 | 第39-40页 |
| 4.2 实验结果与分析 | 第40-53页 |
| 4.2.1 激光能量对微通道表面粗糙度的影响 | 第40-43页 |
| 4.2.2 激光脉冲频率对微通道表面粗糙度的影响 | 第43-45页 |
| 4.2.3 扫描速度对微通道表面粗糙度的影响 | 第45-47页 |
| 4.2.4 进给深度对微通道表面粗糙度的影响 | 第47-49页 |
| 4.2.5 影响加工质量的其他因素研究 | 第49-53页 |
| 4.3 准分子激光辅助微铣削正交试验 | 第53-59页 |
| 4.3.1 正交试验方案设计 | 第53-54页 |
| 4.3.2 试验结果与分析 | 第54-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-61页 |
| 结论 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
