| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 超精密加工研究的发展 | 第11-13页 |
| 1.2.1 超精密加工精度的影响因素 | 第11页 |
| 1.2.2 国内外超精密加工的发展状况 | 第11-13页 |
| 1.3 微振动研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3.1 国外微振动研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3.2 国内微振动研究现状 | 第14-15页 |
| 1.4 压电材料在微振动控制中的应用 | 第15-16页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第16-17页 |
| 2 环境振动研究与控制理论 | 第17-32页 |
| 2.1 环境振动概述 | 第17-20页 |
| 2.1.1 环境振动特点 | 第17-18页 |
| 2.1.2 环境振动评价标准 | 第18页 |
| 2.1.3 环境振动的振源 | 第18-19页 |
| 2.1.4 环境振动的传播 | 第19-20页 |
| 2.2 环境振动分析方法 | 第20-24页 |
| 2.2.1 概率分析 | 第20-21页 |
| 2.2.2 时域分析 | 第21-22页 |
| 2.2.3 频域分析 | 第22-23页 |
| 2.2.4 系统对随机振动的响应 | 第23-24页 |
| 2.3 环境振动控制 | 第24-30页 |
| 2.3.1 被动控制 | 第24-29页 |
| 2.3.2 主动控制 | 第29-30页 |
| 2.3.3 半主动控制 | 第30页 |
| 2.3.4 混合控制 | 第30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-32页 |
| 3 超精密加工设备动力性能试验 | 第32-41页 |
| 3.1 动力性能试验方法概述 | 第32页 |
| 3.2 超精密加工设备试验模态分析 | 第32-40页 |
| 3.2.1 试验对象及其特性 | 第32-33页 |
| 3.2.2 试验方法 | 第33-34页 |
| 3.2.3 试验模态测试结果分析 | 第34-40页 |
| 3.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 4 超精密加工设备在微振动作用下的响应分析 | 第41-53页 |
| 4.1 超精密加工设备有限元模型 | 第41-42页 |
| 4.1.1 有限元模型的建立 | 第41-42页 |
| 4.1.2 计算模态分析 | 第42页 |
| 4.2 微振动信号的生成 | 第42-43页 |
| 4.3 随机振动有限元分析 | 第43-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 5 基于压电材料的设备基础隔振体系设计与分析 | 第53-70页 |
| 5.1 压电材料的特性 | 第53-54页 |
| 5.2 设备基础隔振系统设计 | 第54-56页 |
| 5.2.1 设备基础隔振系统设计依据 | 第54页 |
| 5.2.2 设备基础隔振方案 | 第54页 |
| 5.2.3 设备基础隔振参数设计 | 第54-55页 |
| 5.2.4 设备基础隔振系统有限元模型 | 第55-56页 |
| 5.3 设备基础隔振系统随机振动有限元分析 | 第56-65页 |
| 5.4 设备基础隔振参数对隔振效果的影响 | 第65-69页 |
| 5.4.1 附加独立基础质量对隔振效果的影响 | 第65-66页 |
| 5.4.2 压电陶瓷堆叠层数和上下表面电压差对隔振效果的影响 | 第66-68页 |
| 5.4.3 空气弹簧刚度对隔振效果的影响 | 第68-69页 |
| 5.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 6 结论与展望 | 第70-72页 |
| 6.1 结论 | 第70-71页 |
| 6.2 展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-79页 |
| 附录 | 第79页 |