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AlGaInAs近红外半导体激光器外延结构的退化机理研究

摘要第5-7页
abstract第7-8页
第1章 绪论第16-42页
    1.1 Ⅲ/Ⅴ族量子阱半导体激光器简介第16-19页
        1.1.1 Ⅲ/Ⅴ族量子阱半导体激光器的发展历程第16-18页
        1.1.2 Ⅲ/Ⅴ族半导体激光器的主要应用第18-19页
    1.2 Ⅲ/Ⅴ族三元、四元半导体激光器外延材料的晶格结构及退化机理介绍..第19-26页
        1.2.1 Ⅲ/Ⅴ族三元、四元半导体激光器外延材料的晶格结构第19-20页
        1.2.2 Ⅲ/Ⅴ族三元、四元半导体激光器的主要退化机理第20-26页
    1.3 Ⅲ/Ⅴ族多元体系半导体激光器的退化机理在国内外的研究进展第26-40页
    1.4 本论文的研究目的与研究工作第40-42页
第2章 半导体激光器外延结构的性能表征测试方法第42-50页
    2.1 阴极荧光技术第42-44页
    2.2 高分辨率X射线衍射仪第44-46页
    2.3 光致发光光谱仪第46-47页
    2.4 时间分辨光致发光光谱仪第47-48页
    2.5 扫描电子显微镜第48页
    2.6 激光拉曼光谱仪第48-49页
    2.7 本章小结第49-50页
第3章 AlGaInAs量子阱外延结构的MOCVD生长及结构表征第50-62页
    3.1 MOCVD外延系统介绍第50-53页
    3.2 AlGaInAs应变量子阱外延结构的生长工艺第53-55页
    3.3 AlGaInAs应变量子阱外延结构的均匀性表征第55-56页
    3.4 AlGaInAs应变量子阱外延层的组分测定与分析第56页
    3.5 AlGaInAs应变量子阱外延结构的热处理工艺第56页
    3.6 AlGaInAs应变量子阱外延片的结构性能测试与分析第56-60页
    3.7 本章小结第60-62页
第4章 AlGaInAs应变量子阱半导体激光器外延结构中热处理引发的缺陷类型及演变过程第62-82页
    4.1 研究背景第62-63页
    4.2 AlGaInAs应变量子阱外延片的荧光寿命分析第63-66页
    4.3 AlGaInAs应变量子阱外延片的空间分辨阴极荧光测试与性能表征第66-80页
    4.4 本章小结第80-82页
第5章 温度对AlGaInAs应变量子阱半导体激光器外延结构光学性能的影响第82-102页
    5.1 研究背景第82页
    5.2 温度对AlGaInAs应变量子阱外延结构的PL发光峰强度的影响第82-86页
    5.3 温度对AlGaInAs应变量子阱外延结构的PL发光峰位的影响第86-94页
    5.4 温度对AlGaInAs应变量子阱外延结构的PL发光峰半高宽的影响第94-97页
    5.5 AlGaInAs应变量子阱外延结构的PL发光峰能量与半高宽间的关系第97-99页
    5.6 本章小结第99-102页
第6章 总结与展望第102-106页
    6.1 结论第102-103页
    6.2 改进器件高温热稳定性的建议第103页
    6.3 研究展望第103-106页
参考文献第106-116页
附录 英文缩略词列表第116-118页
致谢第118-120页
作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果第120-121页

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