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双重等离子共振自驱动高性能宽波段Si肖特基光电探测器的研究

致谢第7-8页
摘要第8-9页
abstract第9页
第一章 绪论第15-31页
    1.1 光电探测器的简介第15-17页
        1.1.1 光电探测器的光电效应第15-16页
        1.1.2 光电探测器的发展及国内外研究现状第16-17页
    1.2 光电探测器的分类第17-21页
        1.2.1 紫外光电探测器第18-19页
        1.2.2 可见光电探测器第19-20页
        1.2.3 红外光电探测器第20-21页
    1.3 光电探测器的结构分类第21-25页
        1.3.1 光电导型光电探测器第21-22页
        1.3.2 pn结型光电探测器第22页
        1.3.3 p-i-n型光电探测器第22-23页
        1.3.4 雪崩二极管第23-24页
        1.3.5 肖特基结型二极管第24-25页
    1.4 表面等离子体共振在光电领域的应用第25-26页
    1.5 光电探测器的特性参数第26-30页
        1.5.1 光吸收第27页
        1.5.2 量子效率第27-28页
        1.5.3 光电流和暗电流第28页
        1.5.4 光谱响应度和频率响应度第28-29页
        1.5.5 噪声等效功率和线性行动态范围第29页
        1.5.6 上升下降时间和归一化探测率第29-30页
    1.6 本章小结第30-31页
第二章 石墨烯的合成制备及其特点第31-40页
    2.1 石墨烯基础知识简介第31-37页
        2.1.1 石墨烯的发展历史及其背景介绍第31-32页
        2.1.2 石墨烯的主要性质第32-33页
        2.1.3 石墨烯的能带结构第33-34页
        2.1.4 石墨烯的制备方法第34-37页
    2.2 本实验石墨烯的合成与表征第37-39页
        2.2.1 石墨烯的合成第37-38页
        2.2.2 石墨烯的转移第38页
        2.2.3 石墨烯的表征第38-39页
    2.3 本章小结第39-40页
第三章 双层金纳米颗粒的制备及其光学性能的研究第40-50页
    3.1 金属纳米颗粒的背景发展第40页
    3.2 金属纳米颗粒的制备第40-43页
        3.2.1 化学气相反应法第41页
        3.2.2 掩膜板刻蚀法第41-42页
        3.2.3 物理方法第42页
        3.2.4 微乳液法第42-43页
    3.3 金纳米颗粒的制备及其表征第43-45页
        3.3.1 双层金纳米颗粒的实验制备流程第43页
        3.3.2 双层金纳米颗粒的表征第43-45页
    3.4 金纳米颗粒表面等离子体共振的理论模拟分析第45-48页
        3.4.1 金纳米颗粒的表面等离子体共振第45-46页
        3.4.2 有限元理论模拟的介绍第46页
        3.4.3 基于有限元分析的方法模拟双层金纳米颗粒的光谱吸收和电磁场特性第46-48页
    3.6 本章小结第48-50页
第四章 双重等离子体共振Si肖特基光电探测器的研究第50-62页
    4.1 双重等离子体共振Si肖特基光电探测器的制备第50-52页
        4.1.1 实验所需材料第50-51页
        4.1.2 实验设备及仪器第51页
        4.1.3 光电探测器的制备流程第51-52页
    4.2 双重等离子体共振Si肖特基光电探测器的性能表征第52-59页
    4.3 双重等离子体共振Si肖特基光电探测器的能带机理分析第59-60页
    4.4 本章小结第60-62页
第五章 总结与展望第62-63页
参考文献第63-68页
攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况第68-69页

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