低能量电子枪的研发
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-12页 |
| 1.1.1 表面分析技术 | 第10-11页 |
| 1.1.2 X射线光电子能谱 | 第11-12页 |
| 1.1.3 荷电效应 | 第12页 |
| 1.2 研究目的和意义 | 第12-13页 |
| 1.3 国内外研究现状和发展趋势 | 第13-16页 |
| 1.3.1 国内外发展历程 | 第13-14页 |
| 1.3.2 国内外研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3.3 电子枪的发展趋势 | 第15-16页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第二章 电子光学基本理论 | 第17-29页 |
| 2.1 电子光学特征 | 第17-20页 |
| 2.1.1 电子光学的折射率 | 第17-18页 |
| 2.1.2 电子光学折射率的特点 | 第18-20页 |
| 2.2 轴对称电场中的电子运动 | 第20-23页 |
| 2.2.1 轴对称电场的基本特点 | 第20-22页 |
| 2.2.2 电子在轴对称场傍轴区域中的运动 | 第22-23页 |
| 2.3 静电透镜 | 第23-28页 |
| 2.3.1 膜孔透镜 | 第23-25页 |
| 2.3.2 单透镜 | 第25-26页 |
| 2.3.3 浸没透镜 | 第26-27页 |
| 2.3.4 浸没物镜 | 第27-28页 |
| 本章小结 | 第28-29页 |
| 第二章 低能量电子枪模型建立与仿真 | 第29-48页 |
| 3.1 电子枪初步设计 | 第29-31页 |
| 3.1.1 设计要求与思路 | 第29页 |
| 3.1.2 阴极的设计 | 第29-30页 |
| 3.1.3 控制极和阳极设计 | 第30-31页 |
| 3.2 计算模型建立 | 第31-32页 |
| 3.2.1 模型尺寸计算 | 第31-32页 |
| 3.3 模型仿真过程及结果 | 第32-47页 |
| 3.3.1 软件介绍 | 第32-33页 |
| 3.3.2 初始模型仿真 | 第33-37页 |
| 3.3.3 四电极模型仿真 | 第37-40页 |
| 3.3.4 四电极修正模型仿真 | 第40-43页 |
| 3.3.5 四电极最终模型仿真 | 第43-47页 |
| 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 低能量电子枪机械设计与电路设计 | 第48-65页 |
| 4.1 电子枪机械设计 | 第48-55页 |
| 4.1.1 阴极组件设计 | 第48-49页 |
| 4.1.2 控制极设计 | 第49-50页 |
| 4.1.3 底件设计 | 第50页 |
| 4.1.4 聚焦极设计 | 第50-51页 |
| 4.1.5 阳极设计 | 第51页 |
| 4.1.6 顶件设计 | 第51-52页 |
| 4.1.7 支撑板设计 | 第52页 |
| 4.1.8 底座设计 | 第52-53页 |
| 4.1.9 电极法兰设计 | 第53-54页 |
| 4.1.10 其它零件设计 | 第54-55页 |
| 4.2 电子枪材料选择 | 第55-56页 |
| 4.2.1 材料选择要求 | 第55页 |
| 4.2.2 不同零件材料选择 | 第55-56页 |
| 4.3 零件检查及清洗 | 第56-57页 |
| 4.4 装配及注意事项 | 第57-60页 |
| 4.4.1 装配顺序 | 第57页 |
| 4.4.2 注意事项 | 第57-58页 |
| 4.4.3 整体结构 | 第58-60页 |
| 4.5 电路设计 | 第60-64页 |
| 4.5.1 总体设计 | 第60页 |
| 4.5.2 主电路设计 | 第60-61页 |
| 4.5.3 控制电路设计 | 第61-64页 |
| 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 低能量电子枪性能测试 | 第65-73页 |
| 5.1 测试方案 | 第65页 |
| 5.2 真空系统搭建 | 第65-67页 |
| 5.2.1 真空腔体 | 第65-66页 |
| 5.2.2 机械泵 | 第66页 |
| 5.2.3 分子泵 | 第66页 |
| 5.2.4 真空计 | 第66页 |
| 5.2.5 真空阀门 | 第66-67页 |
| 5.3 测量机构设计 | 第67-68页 |
| 5.4 实验过程 | 第68-70页 |
| 5.4.1 排气前检查 | 第68页 |
| 5.4.2 排气步骤 | 第68-69页 |
| 5.4.3 性能测试 | 第69页 |
| 5.4.4 放气步骤 | 第69-70页 |
| 5.5 数据分析 | 第70-72页 |
| 本章小结 | 第72-73页 |
| 结论 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
