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复合微纳铜颗粒膏的制备及其烧结性能的研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
第1章 绪论第9-24页
    1.1 课题背景及研究的目的和意义第9-10页
    1.2 微纳铜颗粒制备方法的研究现状第10-14页
    1.3 微纳铜颗粒在印刷电子中的研究现状第14-19页
    1.4 微纳铜颗粒在互连结构中的研究现状第19-22页
    1.5 本文的主要研究内容第22-24页
第2章 实验材料及方法第24-32页
    2.1 实验材料与制备第24-27页
        2.1.1 复合微纳铜颗粒膏的制备第24-25页
        2.1.2 导电薄膜试样的制备第25-26页
        2.1.3 压力辅助导电薄膜试样的制备第26-27页
        2.1.4 互连烧结接头试样的制备第27页
    2.2 分析测试方法第27-32页
        2.2.1 实验样品的粒径及微观组织形貌表征第27-28页
        2.2.2 复合微纳铜颗粒膏的性能分析第28-31页
        2.2.3 互连接头的力学性能测试手段第31-32页
第3章 复合微纳铜颗粒膏的制备及堆叠模型第32-41页
    3.1 引言第32页
    3.2 纳米铜颗粒的制备第32-36页
    3.3 复合微纳铜颗粒膏的制备第36-37页
    3.4 复合微纳铜颗粒膏的堆叠模型第37-39页
    3.5 本章小结第39-41页
第4章 复合微纳铜颗粒膏在印刷电子中的性能研究第41-59页
    4.1 引言第41页
    4.2 复合微纳铜颗粒膏烧结薄膜的导电性能第41-56页
        4.2.1 烧结温度与烧结时间第42-47页
        4.2.2 清洗次数与酸洗处理第47-54页
        4.2.3 辅助加压第54-56页
    4.3 复合微纳铜颗粒膏烧结薄膜的可靠性第56-57页
        4.3.1 附着力第56-57页
        4.3.2 抗腐蚀性第57页
    4.4 本章小结第57-59页
第5章 复合微纳铜颗粒膏在互连结构中的性能研究第59-65页
    5.1 引言第59页
    5.2 复合微纳铜颗粒膏互连接头的性能研究第59-62页
        5.2.1 导电性能第59-60页
        5.2.2 导热性能第60-61页
        5.2.3 力学性能第61-62页
    5.3 复合微纳铜颗粒膏互连接头的微观组织分析第62-64页
    5.4 本章小结第64-65页
结论第65-66页
参考文献第66-73页
致谢第73页

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