| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-50页 |
| 1.1 电子皮肤简介 | 第12-23页 |
| 1.1.1 皮肤及其感受器 | 第14-16页 |
| 1.1.2 电子皮肤的发展简史 | 第16-23页 |
| 1.2 具有压力传感功能的电子皮肤 | 第23-37页 |
| 1.2.1 柔性压力传感器性能评价 | 第23-29页 |
| 1.2.2 柔性压力传感器的工作原理 | 第29-30页 |
| 1.2.3 柔性压力传感器的研究现状及面临的挑战 | 第30-37页 |
| 1.3 智能电子皮肤 | 第37-43页 |
| 1.4 本章小结 | 第43页 |
| 1.5 本文的研究思路与主要内容 | 第43-45页 |
| 参考文献 | 第45-50页 |
| 第二章 基于多级微结构电极的低回滞高灵敏度柔性压力传感器 | 第50-71页 |
| 2.1 前言 | 第50-52页 |
| 2.2 基于多级微结构的柔性电容型压力传感器的设计与制备 | 第52-55页 |
| 2.2.1 压力传感器的器件与微结构设计 | 第52-53页 |
| 2.2.2 表面具有多级微结构PDMS电极的制备 | 第53-55页 |
| 2.2.3 表征与测试 | 第55页 |
| 2.3 基于多级微结构的柔性电容型压力传感器的测试与分析 | 第55-65页 |
| 2.3.1 基于多级微结构电极的柔性压力传感器的回滞与灵敏度的调控 | 第55-62页 |
| 2.3.2 基于多级微结构的柔性压力传感器的其他主要性能测试 | 第62-65页 |
| 2.4 基于多级微结构的柔性压力传感器在精确脉搏测试中的应用 | 第65-67页 |
| 2.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 第三章 基于硅纳米线的低回滞高速响应柔性电容型压力传感器 | 第71-88页 |
| 3.1 前言 | 第71-72页 |
| 3.2 基于硅纳米线的柔性电容型压力传感器的设计与制备 | 第72-74页 |
| 3.2.1 器件设计与制备 | 第72-73页 |
| 3.2.2 硅纳米线的生长 | 第73页 |
| 3.2.3 超疏水涂层的制备 | 第73-74页 |
| 3.2.4 测试与表征 | 第74页 |
| 3.3 基于硅纳米线的柔性电容型压力传感器的测试与分析 | 第74-83页 |
| 3.3.1 VLS工艺生长的硅纳米线的形貌特征与性质 | 第74-76页 |
| 3.3.2 基于硅纳米线的柔性电容型压力传感器的数学模型 | 第76-78页 |
| 3.3.3 基于硅纳米线的柔性电容型压力传感器的压力电容响应与灵敏度特性 | 第78-80页 |
| 3.3.4 基于硅纳米线的柔性电容型压力传感器的回滞与响应时间特性 | 第80-82页 |
| 3.3.5 基于硅纳米线的柔性电容型压力传感器的其他性能 | 第82-83页 |
| 3.4 基于硅纳米线的柔性电容型压力传感器的应用 | 第83-85页 |
| 3.5 本章小结 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-88页 |
| 第四章 结论与展望 | 第88-91页 |
| 4.1 主要结论 | 第88-89页 |
| 4.2 研究展望 | 第89-91页 |
| 致谢 | 第91-92页 |
| 攻读博士学位期间的成果 | 第92-94页 |
