| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-21页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 AlN薄膜简介 | 第13-17页 |
| 1.2.1 AlN晶体结构 | 第13-14页 |
| 1.2.2 AlN薄膜性质 | 第14-15页 |
| 1.2.3 AlN薄膜应用 | 第15-17页 |
| 1.3 Sc、Er元素简介 | 第17页 |
| 1.4 Sc、Er掺杂AlN薄膜的国内外研究现状 | 第17-19页 |
| 1.4.1 国外研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4.2 国内研究现状 | 第18-19页 |
| 1.5 本文的研究目的和工作内容 | 第19-21页 |
| 第二章 理论知识和计算软件 | 第21-30页 |
| 2.1 第一性原理 | 第21页 |
| 2.2 密度泛函理论(DFT) | 第21-24页 |
| 2.2.1 Hohenberg-Kohn定理 | 第22页 |
| 2.2.2 Kohn-Sham方程 | 第22-23页 |
| 2.2.3 交换关联泛函 | 第23-24页 |
| 2.3 平面波赝势方法 | 第24-27页 |
| 2.3.1 截止动能(ecut) | 第25-26页 |
| 2.3.2 k点网格 | 第26-27页 |
| 2.3.3 赝势 | 第27页 |
| 2.4 自洽场计算 | 第27-29页 |
| 2.5 MaterialsStudio及VASP介绍 | 第29页 |
| 2.6 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 Sc掺杂AlN的第一性原理研究 | 第30-43页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 建立模型和参数收敛性测试 | 第30-33页 |
| 3.2.1 ScxAl1-XN模型建立 | 第30-31页 |
| 3.2.2 截止动能的收敛性测试 | 第31-32页 |
| 3.2.3 k网格点的收敛性测试 | 第32-33页 |
| 3.3 掺杂体系ScxAl1-xN晶体结构 | 第33-34页 |
| 3.4 掺杂体系ScxAl1-xN压电性能 | 第34-36页 |
| 3.5 掺杂体系ScxAl1-xN电子结构 | 第36-39页 |
| 3.6 掺杂体系ScxAl1-xN光学性质 | 第39-42页 |
| 3.6.1 掺杂体系ScxAl1-xN复介电函数 | 第39-40页 |
| 3.6.2 掺杂体系ScxAl1-xN吸收谱 | 第40-41页 |
| 3.6.3 掺杂体系ScxAl1-xN反射谱 | 第41-42页 |
| 3.7 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 Er掺杂AlN的第一性原理研究 | 第43-55页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 建立模型和参数收敛性测试 | 第43-46页 |
| 4.2.1 ErxAl1-xN模型建立 | 第43-44页 |
| 4.2.2 截止动能的收敛性测试 | 第44-45页 |
| 4.2.3 k点网格的收敛性测试 | 第45-46页 |
| 4.3 掺杂体系ErxAl1-xN晶体结构 | 第46-47页 |
| 4.4 掺杂体系ErxAl1-xN压电性能 | 第47-48页 |
| 4.5 掺杂体系ErxAl1-xN电子结构 | 第48-52页 |
| 4.6 掺杂体系ErxAl1-xN光学性质 | 第52-54页 |
| 4.6.1 掺杂体系ErxAl1-xN复介电函数 | 第52页 |
| 4.6.2 掺杂体系ErxAl1-xN吸收谱 | 第52-53页 |
| 4.6.3 掺杂体系ErxAl1-xN反射谱 | 第53-54页 |
| 4.7 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 总结 | 第55-57页 |
| 5.1 总结 | 第55-56页 |
| 5.2 展望 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第62-63页 |