石墨烯薄膜材料微波参数测试方法研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 研究目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究进展 | 第11-14页 |
| 1.2.1 石墨烯表征方法研究进展 | 第11-13页 |
| 1.2.2 石墨烯主要制备方法 | 第13页 |
| 1.2.3 石墨烯微波特性研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 微波传输测试法研究状况 | 第14-15页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 电介质参数微波测量的基本原理 | 第17-39页 |
| 2.1 介质参数定义及其影响 | 第17-18页 |
| 2.2 传输线理论 | 第18-21页 |
| 2.2.1 传输线的电路模型 | 第18-20页 |
| 2.2.2 传输线特性参数 | 第20-21页 |
| 2.3 共面波导微波传输特性分析 | 第21-31页 |
| 2.3.1 共面波导结构 | 第21-22页 |
| 2.3.2 共面波导理论分析 | 第22-31页 |
| 2.4 微波网络分析 | 第31-33页 |
| 2.4.1 微波网络散射参量 | 第31-32页 |
| 2.4.2 传输级联参数 | 第32-33页 |
| 2.5 矢量网络分析仪的误差来源及校准 | 第33-38页 |
| 2.5.1 测量模型 | 第33-34页 |
| 2.5.2 测量误差来源 | 第34页 |
| 2.5.3 误差模型及校准方法 | 第34-38页 |
| 2.6 本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 测试结构的设计仿真与实现 | 第39-53页 |
| 3.1 共面波导结构 | 第39页 |
| 3.2 基片材料的选取 | 第39-40页 |
| 3.3 共面波导参数设计和仿真 | 第40-45页 |
| 3.3.1 硅基片厚度的影响 | 第40-41页 |
| 3.3.2 石墨烯薄膜相对介电常数的影响 | 第41-42页 |
| 3.3.3 保护层氧化铝厚度的影响 | 第42页 |
| 3.3.4 金属导体厚度的影响 | 第42-44页 |
| 3.3.5 金属电极和缝隙宽度的影响 | 第44-45页 |
| 3.4 TRL校准件设计 | 第45-50页 |
| 3.4.1 直通校准件 | 第45-46页 |
| 3.4.2 反射校准件 | 第46-49页 |
| 3.4.3 传输线校准件 | 第49-50页 |
| 3.5 测试结构版图设计 | 第50-51页 |
| 3.6 测试样品制备 | 第51-52页 |
| 3.7 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 石墨烯介质微波参数的测试方法 | 第53-58页 |
| 4.1 散射参数校准 | 第53-54页 |
| 4.2 石墨烯介电常数的提取 | 第54-55页 |
| 4.3 石墨烯损耗角正切的提取 | 第55-57页 |
| 4.3.1 辐射损耗引起的衰减 | 第55-56页 |
| 4.3.2 导体损耗引起的衰减 | 第56页 |
| 4.3.3 介质损耗引起的衰减 | 第56-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 测量及数据分析 | 第58-68页 |
| 5.1 测量平台 | 第58-59页 |
| 5.2 测试结果 | 第59-64页 |
| 5.2.1 加载石墨烯样品前后的散射参数 | 第59-61页 |
| 5.2.2 校准前后对比 | 第61页 |
| 5.2.3 硅基片介电常数 | 第61-62页 |
| 5.2.4 石墨烯薄膜微波参数 | 第62-63页 |
| 5.2.5 测试重复性考察 | 第63-64页 |
| 5.3 误差分析 | 第64-67页 |
| 5.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 结论 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第73-74页 |
