| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 课题研究的背景、目的和意义 | 第12-14页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第12-13页 |
| 1.1.2 研究目的和意义 | 第13-14页 |
| 1.2 光刻掩模板的线宽测量技术 | 第14-16页 |
| 1.3 计算机显微图像测量技术及其研究现状 | 第16-25页 |
| 1.3.1 计算机显微图像测量系统 | 第16-21页 |
| 1.3.2 计算机微视觉检测技术研究现状 | 第21-23页 |
| 1.3.3 显微图像测量的关键技术 | 第23-25页 |
| 1.4 论文主要研究工作与结构安排 | 第25-28页 |
| 第二章 基于计算机视觉的亚微米特征尺寸测量 | 第28-50页 |
| 2.1 引言 | 第28页 |
| 2.2 亚微米级微结构形貌特征 | 第28-31页 |
| 2.3 亚微米尺寸微视觉测量基础 | 第31-38页 |
| 2.3.1 测量系统构成 | 第31-33页 |
| 2.3.2 测量系统的成像特性 | 第33-37页 |
| 2.3.3 测量原理 | 第37-38页 |
| 2.4 传统图像测量技术 | 第38-48页 |
| 2.4.1 滤波尺度选择 | 第38-40页 |
| 2.4.2 边缘检测方法 | 第40-45页 |
| 2.4.3 平均线宽测量 | 第45-47页 |
| 2.4.4 分析与改进 | 第47-48页 |
| 2.5 本章小结 | 第48-50页 |
| 第三章 尺度优化的 Retinex 算法与显微图像增强 | 第50-64页 |
| 3.1 引言 | 第50-51页 |
| 3.2 传统图像增强技术 | 第51-55页 |
| 3.2.1 空域图像增强 | 第51-52页 |
| 3.2.2 频域图像增强 | 第52-55页 |
| 3.3 Retinex 图像增强技术 | 第55-57页 |
| 3.3.1 Retinex 理论 | 第55-56页 |
| 3.3.2 单尺度 Retinex 算法 | 第56-57页 |
| 3.4 尺度优化的 Retinex 算法 | 第57-59页 |
| 3.4.1 算法设计 | 第57-59页 |
| 3.4.2 算法仿真 | 第59页 |
| 3.5 微视觉图像增强结果与分析 | 第59-62页 |
| 3.5.1 Retinex 算法图像增强结果 | 第59-61页 |
| 3.5.2 图像增强算法对比分析 | 第61-62页 |
| 3.6 本章小结 | 第62-64页 |
| 第四章 线纹中心定位算法与系统标定 | 第64-84页 |
| 4.1 引言 | 第64页 |
| 4.2 特定目标中线提取技术 | 第64-65页 |
| 4.3 线纹像素灰度轮廓脊化变换 | 第65-67页 |
| 4.4 基于矩的中轴线检测算法 | 第67-70页 |
| 4.4.1 矩不变理论及其几何意义 | 第67-69页 |
| 4.4.2 空间矩线条中心定位算法设计 | 第69-70页 |
| 4.5 线条定位算法测试 | 第70-77页 |
| 4.5.1 定位算法鲁棒性实验 | 第70-72页 |
| 4.5.2 定位精度评估实验 | 第72-77页 |
| 4.6 测量系统的标定 | 第77-82页 |
| 4.6.1 相机标定的方法 | 第77-78页 |
| 4.6.2 显微测量系统的成像模型 | 第78-80页 |
| 4.6.3 显微测量系统标定及实现 | 第80-82页 |
| 4.7 本章小结 | 第82-84页 |
| 第五章 线纹显微图像边缘定位算法与线宽测量 | 第84-116页 |
| 5.1 引言 | 第84-85页 |
| 5.2 线纹显微图像的边缘特征分析 | 第85-86页 |
| 5.3 基于轴向邻域和差的边缘检测方法 | 第86-101页 |
| 5.3.1 区域一致性测度与方向信息测度 | 第86-88页 |
| 5.3.2 线纹中轴线方向角提取 | 第88-89页 |
| 5.3.3 轴向邻域和差计算公式 | 第89-90页 |
| 5.3.4 边缘检测原理 | 第90-92页 |
| 5.3.5 边缘检测实验 | 第92-101页 |
| 5.4 基于轴向邻域和差的亚像素边缘定位算法 | 第101-107页 |
| 5.4.1 轴向邻域和差法亚像素边缘定位原理 | 第101-102页 |
| 5.4.2 亚像素边缘定位实验 | 第102-107页 |
| 5.5 线宽测量及结果分析 | 第107-115页 |
| 5.5.1 线宽像素数测量 | 第107-111页 |
| 5.5.2 线宽测量结果及不确定度分析 | 第111-115页 |
| 5.6 本章小结 | 第115-116页 |
| 总结与展望 | 第116-118页 |
| 1 主要工作和结论 | 第116-117页 |
| 2 创新点 | 第117页 |
| 3 工作展望 | 第117-118页 |
| 参考文献 | 第118-128页 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第128-129页 |
| 致谢 | 第129-130页 |
| 附件 | 第130页 |