| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 引言 | 第10-12页 |
| 1.1.1 低温等离子体概述 | 第10-11页 |
| 1.1.2 常见低温等离子体源 | 第11-12页 |
| 1.2 射频等离子体放电 | 第12-18页 |
| 1.2.1 射频放电简介 | 第12-16页 |
| 1.2.1.1 容性耦合等离子体放电（CCP） | 第13-14页 |
| 1.2.1.2 螺旋波等离子体放电（HWP） | 第14页 |
| 1.2.1.3 感应耦合等离子体放电（ICP） | 第14-16页 |
| 1.2.2 二次电子协同 ICP 射频放电 | 第16-18页 |
| 1.3 射频放电在材料表面改性中的应用 | 第18-22页 |
| 1.3.1 等离子体材料表面改性的原理 | 第18-21页 |
| 1.3.2 射频放电对聚合物薄膜表面改性的研究进展 | 第21-22页 |
| 1.4 本文的主要工作 | 第22-23页 |
| 第二章 实验部分 | 第23-32页 |
| 2.1 实验装置介绍 | 第23-24页 |
| 2.1.1 实验仪器设备 | 第23-24页 |
| 2.1.2 实验材料 | 第24页 |
| 2.2 实验流程 | 第24-25页 |
| 2.3 等离子体诊断方法 | 第25-29页 |
| 2.3.1 朗缪尔探针诊断 | 第25-28页 |
| 2.3.2 发射光谱诊断 | 第28-29页 |
| 2.4 检测仪器及测试方法 | 第29-32页 |
| 2.4.1 接触角测试 | 第29-30页 |
| 2.4.2 原子力显微镜 | 第30页 |
| 2.4.3 X 射线光电子能谱 | 第30-32页 |
| 第三章 二次电子对协同 ICP 放电的影响 | 第32-49页 |
| 3.1 朗缪尔探针诊断 | 第32-40页 |
| 3.1.1 ICP 放电时功率对等离子体参数的影响 | 第32-34页 |
| 3.1.2 二次电子协同 ICP 放电对等离子体参数的影响 | 第34-40页 |
| 3.2 二次电子协同 ICP 放电对 GaN 膜荧光特性的在线诊断 | 第40-42页 |
| 3.3 发射光谱诊断 | 第42-47页 |
| 3.3.1 不同氧氩比例对发射光谱的影响 | 第43-45页 |
| 3.3.2 不同脉冲偏压对发射光谱的影响 | 第45-46页 |
| 3.3.3 不同偏压占空比发射光谱的影响 | 第46-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 二次电子协同 ICP 放电对 PET 膜的表面改性 | 第49-63页 |
| 4.1 二次电子协同 ICP 放电对 PET 膜亲水性的影响 | 第49-53页 |
| 4.1.1 不同脉冲偏压对 PET 膜亲水性的影响 | 第50-51页 |
| 4.1.2 不同偏压占空比对 PET 膜亲水性的影响 | 第51-52页 |
| 4.1.3 不同氧氩比例对 PET 膜亲水性的影响 | 第52-53页 |
| 4.2 二次电子协同 ICP 放电对 PET 膜表面形貌的影响 | 第53-57页 |
| 4.2.1 不同脉冲偏压对 PET 膜表面形貌的影响 | 第53-55页 |
| 4.2.2 不同偏压占空比对 PET 膜表面形貌的影响 | 第55-57页 |
| 4.3 二次电子协同 ICP 放电对 PET 膜表面成分的影响 | 第57-62页 |
| 4.3.1 不同氧氩比例对 PET 膜表面成分的影响 | 第57-59页 |
| 4.3.2 不同偏压占空比对 PET 膜表面成分的影响 | 第59-62页 |
| 4.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-70页 |
| 硕士期间发表论文及申请专利 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
