| 摘要 | 第11-13页 |
| Abstract | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第15-32页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第15-17页 |
| 1.2 国外研究综述 | 第17-25页 |
| 1.2.1 测控技术理论研究 | 第18-22页 |
| 1.2.2 误差控制研究 | 第22-25页 |
| 1.3 国内研究综述 | 第25-28页 |
| 1.4 前人工作总结 | 第28-29页 |
| 1.5 论文主要研究内容 | 第29-32页 |
| 第二章 蝶翼式硅微陀螺基础理论 | 第32-56页 |
| 2.1 蝶翼式硅微陀螺总体结构 | 第32-34页 |
| 2.2 蝶翼式硅微陀螺工作原理 | 第34-39页 |
| 2.3 蝶翼式硅微陀螺运动特性与稳态响应分析 | 第39-46页 |
| 2.3.1 运动分析 | 第39-40页 |
| 2.3.2 稳态响应分析 | 第40-46页 |
| 2.4 微弱电容检测技术 | 第46-49页 |
| 2.4.1 平板静电力驱动 | 第46-47页 |
| 2.4.2 微弱电容检测 | 第47-49页 |
| 2.5 信号处理技术 | 第49-54页 |
| 2.5.1 驱动控制 | 第50-51页 |
| 2.5.2 检测控制 | 第51-52页 |
| 2.5.3 角速度解调 | 第52页 |
| 2.5.4 解调器设计 | 第52-54页 |
| 2.6 本章总结 | 第54-56页 |
| 第三章 蝶翼式硅微陀螺零偏稳定性产生机理研究 | 第56-77页 |
| 3.1 零偏及其产生机理 | 第56-61页 |
| 3.1.1 原理性正交误差 | 第57-58页 |
| 3.1.2 加工误差 | 第58-61页 |
| 3.2 正交误差产生机理 | 第61-70页 |
| 3.2.1 弹性系统刚度矩阵 | 第61-62页 |
| 3.2.2 弹性系统不等弹性 | 第62-70页 |
| 3.3 正交误差对零偏输出的影响机理 | 第70-76页 |
| 3.3.1 正交误差在运动方程中的体现 | 第70-71页 |
| 3.3.2 耦合刚度系数与零偏的关系 | 第71-76页 |
| 3.4 本章总结 | 第76-77页 |
| 第四章 基于静电刚度平衡控制提升微陀螺性能方法研究 | 第77-95页 |
| 4.1 微陀螺现有零偏稳定性提升方法分析 | 第77-81页 |
| 4.1.1 机械正交抑制法 | 第78-79页 |
| 4.1.2 电学正交抑制法 | 第79-80页 |
| 4.1.3 静电力正交抑制法 | 第80-81页 |
| 4.2 静电刚度平衡控制技术机理研究 | 第81-85页 |
| 4.2.1 工作原理 | 第81-82页 |
| 4.2.2 控制目标 | 第82-85页 |
| 4.3 耦合刚度静电平衡方法设计 | 第85-88页 |
| 4.3.1 方案设计 | 第85-86页 |
| 4.3.2 PID控制器参数设计 | 第86-88页 |
| 4.4 性能测试对比 | 第88-93页 |
| 4.4.1 电路设计实现 | 第88-89页 |
| 4.4.2 测试系统说明 | 第89-90页 |
| 4.4.3 性能指标测试对比结果 | 第90-93页 |
| 4.5 本章小结 | 第93-95页 |
| 第五章 基于检测模态力平衡控制提升微陀螺性能方法研究 | 第95-116页 |
| 5.1 检测模态力平衡控制技术机理研究 | 第95-99页 |
| 5.1.1 工作原理 | 第95-97页 |
| 5.1.2 控制目标 | 第97-99页 |
| 5.2 力平衡控制方法设计与分析 | 第99-110页 |
| 5.2.1 力平衡控制方案设计 | 第99-102页 |
| 5.2.2 基于ITAE性能指标的PID控制器设计 | 第102-105页 |
| 5.2.3 控制系统带宽分析 | 第105-107页 |
| 5.2.4 电路限制问题分析 | 第107-110页 |
| 5.3 性能指标测试对比 | 第110-114页 |
| 5.3.1 电路设计实现 | 第110-112页 |
| 5.3.2 测试系统 | 第112页 |
| 5.3.3 性能指标测试对比结果 | 第112-114页 |
| 5.4 本章小结 | 第114-116页 |
| 第六章 总结与展望 | 第116-120页 |
| 6.1 全文总结 | 第116-118页 |
| 6.2 研究展望 | 第118-120页 |
| 致谢 | 第120-121页 |
| 参考文献 | 第121-132页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第132-133页 |
