基于聚焦离子束的金刚石刀具制造基础研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题背景和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 微刀具制备研究现状 | 第9-12页 |
| 1.3 本论文的主要工作 | 第12-14页 |
| 第二章 金刚石材料特性对 FIB 加工影响的研究 | 第14-21页 |
| 2.1 晶向实验系统 | 第14-16页 |
| 2.1.1 实验平台 | 第14-15页 |
| 2.1.2 金刚石材料晶向分析 | 第15-16页 |
| 2.2 晶向实验及结果 | 第16-19页 |
| 2.2.1 实验参数设定 | 第16页 |
| 2.2.2 加工效率分析 | 第16-18页 |
| 2.2.3 加工表面质量分析 | 第18-19页 |
| 2.3 结果分析讨论 | 第19-20页 |
| 2.4 小结 | 第20-21页 |
| 第三章 矩形金刚石刀具的 FIB 制备工艺研究 | 第21-30页 |
| 3.1 刀具的设计 | 第21-23页 |
| 3.1.1 加工需求分析 | 第21-22页 |
| 3.1.2 刀具几何形貌设计 | 第22-23页 |
| 3.1.3 刀具尺寸参数设计 | 第23页 |
| 3.2 实验系统搭建及准备 | 第23-26页 |
| 3.2.1 刀具毛坯选择 | 第23-24页 |
| 3.2.2 FIB 制备步骤 | 第24-25页 |
| 3.2.3 制备系统平台 | 第25-26页 |
| 3.3 刀具的制备 | 第26-29页 |
| 3.3.1 毛坯的粗加工 | 第26-27页 |
| 3.3.2 刀具的精加工 | 第27-28页 |
| 3.3.3 刃口的修锐和测量 | 第28-29页 |
| 3.4 小结 | 第29-30页 |
| 第四章 飞秒激光去除金刚石非晶层的研究 | 第30-44页 |
| 4.1 非晶层形成原因及去除方法 | 第30-31页 |
| 4.2 飞秒激光实验系统 | 第31-33页 |
| 4.2.1 系统搭建 | 第31页 |
| 4.2.2 非晶层表征 | 第31-33页 |
| 4.3 飞秒激光的加工 | 第33-36页 |
| 4.3.1 线偏激光处理 | 第33-35页 |
| 4.3.2 圆偏激光处理 | 第35-36页 |
| 4.4 飞秒激光去除结果分析 | 第36-42页 |
| 4.4.1 SEM 形貌分析 | 第36-38页 |
| 4.4.2 AFM 纵向横截面分析 | 第38-39页 |
| 4.4.3 FIB 截面分析 | 第39页 |
| 4.4.4 EDX 元素分析 | 第39-40页 |
| 4.4.5 Raman 光谱分析 | 第40-42页 |
| 4.5 小结 | 第42-44页 |
| 第五章 飞秒激光与物质相互作用机理 | 第44-50页 |
| 5.1 飞秒激光作用的功率密度阈值 | 第44-46页 |
| 5.1.1 激光对单晶金刚石的消融阈值 | 第44-45页 |
| 5.1.2 线偏与圆偏激光的关系 | 第45-46页 |
| 5.2 飞秒激光与物质相互作用机理 | 第46-49页 |
| 5.3 小结 | 第49-50页 |
| 第六章 总结与展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55页 |
