摘要 | 第5-7页 |
Abstract | 第7-9页 |
第1章 绪论 | 第13-25页 |
1.1 课题研究背景及意义 | 第13-15页 |
1.2 衍射光栅的研究历史与现状 | 第15-18页 |
1.3 超环面全息光栅研究历史和应用 | 第18-22页 |
1.4 论文主要研究内容与结构安排 | 第22-25页 |
1.4.1 论文主要研究内容 | 第22-23页 |
1.4.2 论文的结构安排 | 第23-25页 |
第2章 超环面全息光栅理论基础 | 第25-45页 |
2.1 引言 | 第25-26页 |
2.2 超环面全息光栅的符号规则 | 第26-27页 |
2.3 衍射光栅的光程函数推导 | 第27-30页 |
2.4 超环面全息光栅的光程函数理论推导 | 第30-36页 |
2.5 超环面全息光栅的光线追迹理论推导 | 第36-43页 |
2.6 本章小结 | 第43-45页 |
第3章 超环面全息光栅优化设计 | 第45-73页 |
3.1 引言 | 第45-46页 |
3.2 超环面全息光栅光程函数优化设计理论 | 第46-51页 |
3.3 超环面全息光栅平衡像差优化设计法 | 第51-60页 |
3.3.1 超环面全息光栅光程像差函数 | 第52-53页 |
3.3.2 超环面全息光栅刻线密度分布函数 | 第53-54页 |
3.3.3 超环面全息光栅光线追迹点列图均方根函数 | 第54-58页 |
3.3.4 超环面全息光栅平衡像差优化设计算法 | 第58-60页 |
3.4 平衡像差优化设计法的应用 | 第60-71页 |
3.4.1 平衡像差优化设计法的验证 | 第60-63页 |
3.4.2 平衡像差优化设计法在超环面全息光栅设计中的应用 | 第63-71页 |
3.5 本章小结 | 第71-73页 |
第4章 超环面全息光栅匀胶模型 | 第73-93页 |
4.1 引言 | 第73-75页 |
4.2 旋转涂覆理论简介 | 第75-76页 |
4.3 牛顿粘滞定律与流体分类 | 第76-80页 |
4.4 超环面全息光栅旋转涂覆光刻胶模型 | 第80-89页 |
4.5 匀胶模型的适用性讨论 | 第89-91页 |
4.6 本章小结 | 第91-93页 |
第5章 超环面全息光栅参数误差及补偿 | 第93-125页 |
5.1 引言 | 第93-94页 |
5.2 光谱综合性能评价函数 | 第94-99页 |
5.3 超环面全息光栅记录参数和使用参数误差的分析和补偿 | 第99-123页 |
5.3.1 超环面全息光栅使用参数误差分析与补偿 | 第100-106页 |
5.3.2 超环面全息光栅记录参数误差分析与补偿 | 第106-114页 |
5.3.3 超环面全息光栅基底曲率半径误差分析与补偿 | 第114-119页 |
5.3.4 超环面全息光栅基底匀胶参数误差分析与补偿 | 第119-123页 |
5.4 本章小结 | 第123-125页 |
第6章 超环面全息光栅制作技术研究 | 第125-145页 |
6.1 引言 | 第125-126页 |
6.2 超环面全息光栅制作工艺简介 | 第126-129页 |
6.3 匀胶实验 | 第129-136页 |
6.3.1 光刻胶厚度理论分布曲线和参数 | 第130-132页 |
6.3.2 不同条件下的光刻胶厚度分布 | 第132-134页 |
6.3.3 原子力显微镜与椭偏仪测量值对比 | 第134-136页 |
6.4 匀胶工艺缺陷分析 | 第136-137页 |
6.5 用于宽波段光栅单色仪的超环面全息光栅制作 | 第137-143页 |
6.5.1 超环面全息光栅的参数确定 | 第138-141页 |
6.5.2 超环面全息光栅曝光光路设计与搭建 | 第141-142页 |
6.5.3 超环面全息光栅制作 | 第142-143页 |
6.6 本章小结 | 第143-145页 |
第7章 结论与展望 | 第145-147页 |
7.1 论文工作总结 | 第145-146页 |
7.2 展望 | 第146-147页 |
参考文献 | 第147-157页 |
在学期间学术成果情况 | 第157-159页 |
指导教师及作者简介 | 第159-160页 |
致谢 | 第160-161页 |