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超环面全息光栅的优化设计与制作技术研究

摘要第5-7页
Abstract第7-9页
第1章 绪论第13-25页
    1.1 课题研究背景及意义第13-15页
    1.2 衍射光栅的研究历史与现状第15-18页
    1.3 超环面全息光栅研究历史和应用第18-22页
    1.4 论文主要研究内容与结构安排第22-25页
        1.4.1 论文主要研究内容第22-23页
        1.4.2 论文的结构安排第23-25页
第2章 超环面全息光栅理论基础第25-45页
    2.1 引言第25-26页
    2.2 超环面全息光栅的符号规则第26-27页
    2.3 衍射光栅的光程函数推导第27-30页
    2.4 超环面全息光栅的光程函数理论推导第30-36页
    2.5 超环面全息光栅的光线追迹理论推导第36-43页
    2.6 本章小结第43-45页
第3章 超环面全息光栅优化设计第45-73页
    3.1 引言第45-46页
    3.2 超环面全息光栅光程函数优化设计理论第46-51页
    3.3 超环面全息光栅平衡像差优化设计法第51-60页
        3.3.1 超环面全息光栅光程像差函数第52-53页
        3.3.2 超环面全息光栅刻线密度分布函数第53-54页
        3.3.3 超环面全息光栅光线追迹点列图均方根函数第54-58页
        3.3.4 超环面全息光栅平衡像差优化设计算法第58-60页
    3.4 平衡像差优化设计法的应用第60-71页
        3.4.1 平衡像差优化设计法的验证第60-63页
        3.4.2 平衡像差优化设计法在超环面全息光栅设计中的应用第63-71页
    3.5 本章小结第71-73页
第4章 超环面全息光栅匀胶模型第73-93页
    4.1 引言第73-75页
    4.2 旋转涂覆理论简介第75-76页
    4.3 牛顿粘滞定律与流体分类第76-80页
    4.4 超环面全息光栅旋转涂覆光刻胶模型第80-89页
    4.5 匀胶模型的适用性讨论第89-91页
    4.6 本章小结第91-93页
第5章 超环面全息光栅参数误差及补偿第93-125页
    5.1 引言第93-94页
    5.2 光谱综合性能评价函数第94-99页
    5.3 超环面全息光栅记录参数和使用参数误差的分析和补偿第99-123页
        5.3.1 超环面全息光栅使用参数误差分析与补偿第100-106页
        5.3.2 超环面全息光栅记录参数误差分析与补偿第106-114页
        5.3.3 超环面全息光栅基底曲率半径误差分析与补偿第114-119页
        5.3.4 超环面全息光栅基底匀胶参数误差分析与补偿第119-123页
    5.4 本章小结第123-125页
第6章 超环面全息光栅制作技术研究第125-145页
    6.1 引言第125-126页
    6.2 超环面全息光栅制作工艺简介第126-129页
    6.3 匀胶实验第129-136页
        6.3.1 光刻胶厚度理论分布曲线和参数第130-132页
        6.3.2 不同条件下的光刻胶厚度分布第132-134页
        6.3.3 原子力显微镜与椭偏仪测量值对比第134-136页
    6.4 匀胶工艺缺陷分析第136-137页
    6.5 用于宽波段光栅单色仪的超环面全息光栅制作第137-143页
        6.5.1 超环面全息光栅的参数确定第138-141页
        6.5.2 超环面全息光栅曝光光路设计与搭建第141-142页
        6.5.3 超环面全息光栅制作第142-143页
    6.6 本章小结第143-145页
第7章 结论与展望第145-147页
    7.1 论文工作总结第145-146页
    7.2 展望第146-147页
参考文献第147-157页
在学期间学术成果情况第157-159页
指导教师及作者简介第159-160页
致谢第160-161页

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