压电陶瓷片微位移自动测量设备研制
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 压电陶瓷材料原理及简介 | 第11-12页 |
| 1.3 微位移测量技术发展概述 | 第12-20页 |
| 1.3.1 电学测量技术 | 第13-16页 |
| 1.3.2 光学测量技术 | 第16-19页 |
| 1.3.3 微测量技术 | 第19-20页 |
| 1.4 自动化作业设备 | 第20-24页 |
| 1.5 论文研究目的及主要研究内容 | 第24-26页 |
| 2 微位移自动测量设备总体方案设计 | 第26-30页 |
| 2.1 被测元件特性及测量技术要求 | 第26-27页 |
| 2.2 微位移测量模块设计 | 第27-28页 |
| 2.3 上下料模块设计 | 第28-29页 |
| 2.4 零件搬运模块设计 | 第29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-30页 |
| 3 微位移自动测量设备研制 | 第30-55页 |
| 3.1 机械结构 | 第30-43页 |
| 3.1.1 测量模块结构 | 第30-36页 |
| 3.1.2 上下料模块结构 | 第36-37页 |
| 3.1.3 搬运模块结构 | 第37-43页 |
| 3.2 电气系统 | 第43-48页 |
| 3.2.1 运动控制系统 | 第43-44页 |
| 3.2.2 电压控制系统 | 第44-45页 |
| 3.2.3 气路控制系统 | 第45-48页 |
| 3.3 软件控制 | 第48-54页 |
| 3.3.1 微位移自动测量设备控制软件设计 | 第48-53页 |
| 3.3.2 人机交互界面设计 | 第53-54页 |
| 3.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 4 误差分析及精度检测 | 第55-60页 |
| 4.1 测量误差来源及影响分析 | 第55-56页 |
| 4.2 硬件精度检测 | 第56-59页 |
| 4.2.1 导轨重复性精度 | 第56-58页 |
| 4.2.2 电压精度及稳定性 | 第58-59页 |
| 4.3 本章小结 | 第59-60页 |
| 5 设备应用实验 | 第60-64页 |
| 5.1 测量应用实验及结果分析 | 第60-63页 |
| 5.2 本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
