| 西北师范大学研究生学位论文作者信息 | 第5-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 1 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 硬质涂层沉积技术 | 第12-15页 |
| 1.3 研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3.1 CrN涂层 | 第15-16页 |
| 1.3.2 CrSiN和CrAlN涂层 | 第16页 |
| 1.3.3 CrAlSiN涂层 | 第16-17页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 2 涂层的制备与性能检测设备介绍 | 第19-26页 |
| 2.1 涂层的制备 | 第19-20页 |
| 2.2 涂层表征 | 第20-25页 |
| 2.2.1 扫描电子显微镜（SEM） | 第20-21页 |
| 2.2.2 透射电子显微镜(TEM) | 第21-22页 |
| 2.2.3 多晶X射线衍射仪 (XRD) | 第22-23页 |
| 2.2.4 多功能X射线光电子能谱（XPS） | 第23-24页 |
| 2.2.5 纳米压痕仪和划痕仪 | 第24页 |
| 2.2.6 摩擦磨损试验机 | 第24-25页 |
| 2.2.7 电化学工作站 | 第25页 |
| 2.3 本章小结 | 第25-26页 |
| 3 不同Si含量的CrAlSiN涂层微观结构与性能研究 | 第26-38页 |
| 3.1 涂层的形貌 | 第26-28页 |
| 3.2 涂层的微观结构 | 第28-32页 |
| 3.3 涂层的力学性能 | 第32-33页 |
| 3.4 涂层的摩擦磨损性能 | 第33-37页 |
| 3.5 小结 | 第37-38页 |
| 4 不同偏压涂层的摩擦磨损及电化学研究 | 第38-47页 |
| 4.1 不同偏压对涂层的形貌影响与物相研究 | 第38-41页 |
| 4.2 涂层的硬度 | 第41-42页 |
| 4.3 涂层的摩擦磨损性能 | 第42-43页 |
| 4.3.1 涂层的摩擦系数与磨损率 | 第42-43页 |
| 4.3.2 涂层的摩擦形貌 | 第43页 |
| 4.4. 涂层的腐蚀性能分析 | 第43-46页 |
| 4.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 5 不同过渡层CrAlSiN涂层的性能研究 | 第47-61页 |
| 5.1 涂层形貌 | 第47-48页 |
| 5.2 涂层结构 | 第48-51页 |
| 5.3 涂层力学性能 | 第51页 |
| 5.4 涂层腐蚀性能 | 第51-55页 |
| 5.5 不同环境下的摩擦磨损性能 | 第55-60页 |
| 5.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 6 结论及展望 | 第61-62页 |
| 6.1 结论 | 第61页 |
| 6.2 展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69页 |