氧化锌基气体传感器的制备及其性能研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-26页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 气敏传感器 | 第10-15页 |
| 1.2.1 简介 | 第10-11页 |
| 1.2.2 性能评价标准 | 第11-12页 |
| 1.2.3 MOS气敏传感器的工作原理 | 第12-15页 |
| 1.3 ZnO半导体氧化物 | 第15-25页 |
| 1.3.1 ZnO材料简介 | 第15-17页 |
| 1.3.2 ZnO材料的制备 | 第17-23页 |
| 1.3.3 ZnO材料在气敏中的应用 | 第23-25页 |
| 1.4 选题意义 | 第25-26页 |
| 2 ZnO中空微球的制备及其气敏特性 | 第26-35页 |
| 2.1 引言 | 第26页 |
| 2.2 实验方法 | 第26-28页 |
| 2.2.1 实验仪器和试剂 | 第26-27页 |
| 2.2.2 制备方法 | 第27页 |
| 2.2.3 材料表征 | 第27页 |
| 2.2.4 气敏性能测试 | 第27-28页 |
| 2.3 结果 | 第28-33页 |
| 2.3.1 XRD衍射结果 | 第28-29页 |
| 2.3.2 SEM结果 | 第29-30页 |
| 2.3.3 气敏性能测试结果 | 第30-33页 |
| 2.4 讨论 | 第33-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 3 蘑菇状ZnO的制备及其气敏特性 | 第35-45页 |
| 3.1 引言 | 第35-36页 |
| 3.2 实验方法 | 第36-37页 |
| 3.2.1 实验仪器和试剂 | 第36页 |
| 3.2.2 样品制备 | 第36页 |
| 3.2.3 材料表征 | 第36-37页 |
| 3.2.4 气敏性能测试 | 第37页 |
| 3.3 结果 | 第37-41页 |
| 3.3.1 XRD衍射结果 | 第37-38页 |
| 3.3.2 结构表征结果 | 第38-39页 |
| 3.3.3 气敏测试结果 | 第39-41页 |
| 3.4 讨论 | 第41-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 4 中空微球ZnO原位掺杂 | 第45-55页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 实验方法 | 第45-46页 |
| 4.2.1 实验仪器和试剂 | 第45-46页 |
| 4.2.2 样品制备 | 第46页 |
| 4.2.3 材料表征 | 第46页 |
| 4.2.4 气敏性能测试 | 第46页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第46-54页 |
| 4.3.1 XRD衍射结果 | 第46-47页 |
| 4.3.2 结构表征结果 | 第47-49页 |
| 4.3.3 气敏测试结果 | 第49-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 5 论文总结 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表和待发表论文 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
