硅基耦合微环中的类电磁诱导透明/吸收效应
摘要 | 第4-6页 |
ABSTRACT | 第6-7页 |
1 绪论 | 第11-19页 |
1.1 研究背景 | 第11页 |
1.2 微环谐振器 | 第11-13页 |
1.3 类电磁诱导透明介绍以及研究现状 | 第13-17页 |
1.4 本论文的主要内容及创新点 | 第17-19页 |
2 耦合谐振腔的时间耦合模理论 | 第19-25页 |
2.1 单环的时间耦合模理论 | 第19-21页 |
2.2 RBRB 的时间耦合模理论 | 第21-23页 |
2.3 性能参数 | 第23-24页 |
2.4 本章小结 | 第24-25页 |
3 耦合谐振腔理论结果的模拟仿真 | 第25-34页 |
3.1 单环 | 第25-27页 |
3.2 硅基RBRB结构 | 第27-32页 |
3.3 本章小结 | 第32-34页 |
4 硅基微环器件制备工艺流程与测试 | 第34-43页 |
4.1 关键工艺介绍 | 第34-35页 |
4.2 实验工艺基本流程 | 第35-40页 |
4.3 微环器件测试平台 | 第40-42页 |
4.4 本章小结 | 第42-43页 |
5 硅基RBRB结构的实验研究 | 第43-54页 |
5.1 RBRB微环 | 第43-47页 |
5.2 热光可调RBRB微环 | 第47-53页 |
5.3 本章小结 | 第53-54页 |
6 总结与展望 | 第54-56页 |
致谢 | 第56-57页 |
参考文献 | 第57-61页 |
附录1 攻读学位期间发表论文目录 | 第61-62页 |
附录II 论文中缩略词的含义 | 第62页 |