| 博士生自认为的论文创新点 | 第5-9页 |
| 中文摘要 | 第9-11页 |
| Abstract | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第13-36页 |
| 1.1 引言 | 第13-14页 |
| 1.2 TFTs的发展历程 | 第14-17页 |
| 1.3 TFTs的应用 | 第17-19页 |
| 1.3.1 TFTs在显示器中的应用 | 第17-18页 |
| 1.3.2 TFTs在其它功能器件中的应用 | 第18-19页 |
| 1.4 传统TFTs的发展现状 | 第19-20页 |
| 1.5 新型TFTs的研究进展 | 第20-33页 |
| 1.5.1 碳纳米管TFTs | 第21-24页 |
| 1.5.2 纳米线TFTs | 第24-26页 |
| 1.5.3 石墨烯晶体管 | 第26-29页 |
| 1.5.4 硫化钼晶体管 | 第29-30页 |
| 1.5.5 量子点TFTs | 第30-31页 |
| 1.5.6 复合非晶金属氧化物TFTs | 第31-33页 |
| 1.6 本课题的研究意义以及研究内容 | 第33-36页 |
| 1.6.1 本课题的研究意义 | 第33-34页 |
| 1.6.2 本课题的研究内容 | 第34-36页 |
| 第二章 TFTs的制备工艺 | 第36-45页 |
| 2.1 引言 | 第36页 |
| 2.2 TFTs原理和结构 | 第36-37页 |
| 2.3 TFTs主要电学性能参数 | 第37-38页 |
| 2.4 溶胶凝胶法制备TFTs有源层 | 第38-40页 |
| 2.4.1 引言 | 第38-39页 |
| 2.4.2 溶胶凝胶法实验流程 | 第39-40页 |
| 2.5 光刻加工技术 | 第40-42页 |
| 2.5.1 引言 | 第40页 |
| 2.5.2 光学曝光原理 | 第40-41页 |
| 2.5.3 光刻加工技术流程 | 第41-42页 |
| 2.6 热蒸镀制备TFTs金属电极 | 第42-44页 |
| 2.6.1 引言 | 第42-43页 |
| 2.6.2 原理 | 第43页 |
| 2.6.3 热蒸镀主要流程 | 第43-44页 |
| 2.7 制备TFTs的主要设备 | 第44页 |
| 2.8 小结 | 第44-45页 |
| 第三章 In_2O_3 NCs复合非晶IZO TFTs | 第45-61页 |
| 3.1 研究背景 | 第45页 |
| 3.2 In_2O_3 NCs复合非晶IZO薄膜 | 第45-47页 |
| 3.2.1 实验细节 | 第45-46页 |
| 3.2.2 实验表征 | 第46-47页 |
| 3.3 实验结果与分析 | 第47-50页 |
| 3.3.1 In_2O_3 NCs的形貌与结构 | 第47-48页 |
| 3.3.2 复合薄膜的形貌与结构 | 第48-50页 |
| 3.3.3 In_2O_3NCs对复合薄膜透光性影响 | 第50页 |
| 3.4 不同浓度In_2O_3 NCs复合IZO TFTs | 第50-57页 |
| 3.4.1 研究意义 | 第50-51页 |
| 3.4.2 实验设计 | 第51页 |
| 3.4.3 复合薄膜器件的电学性能测试 | 第51-56页 |
| 3.4.4 浓度影响器件性能的机理讨论 | 第56-57页 |
| 3.5 不同厚度SiO_2层复合IZO TFTs | 第57-59页 |
| 3.5.0 研究意义 | 第57页 |
| 3.5.1 实验设计 | 第57页 |
| 3.5.2 器件性能测试及讨论 | 第57-59页 |
| 3.6 复合薄膜/氮化镓异质结性能研究 | 第59-60页 |
| 3.6.1 研究意义 | 第59页 |
| 3.6.2 实验设计 | 第59-60页 |
| 3.6.3 器件性能测试及讨论 | 第60页 |
| 3.7 小结 | 第60-61页 |
| 第四章 碱金属及碱土金属复合非晶铟基氧化物TFTs | 第61-74页 |
| 4.1 研究背景与意义 | 第61-62页 |
| 4.2 复合薄膜的制备 | 第62页 |
| 4.2.1 碱金属复合非晶IZO薄膜 | 第62页 |
| 4.2.2 碱土金属复合非晶IGZO薄膜 | 第62页 |
| 4.3 实验设计 | 第62-64页 |
| 4.3.1 碱金属复合IZO TFTs | 第63页 |
| 4.3.2 碱土金属复合IGZO TFTs | 第63-64页 |
| 4.4 碱金属复合IZO薄膜器件测试 | 第64-66页 |
| 4.4.1 Li复合薄膜器件性能 | 第64-65页 |
| 4.4.2 Na复合薄膜器件性能 | 第65页 |
| 4.4.3 K复合薄膜器件性能 | 第65-66页 |
| 4.5 碱土金属复合IGZO薄膜器件测试 | 第66-70页 |
| 4.5.1 Mg复合薄膜器件性能 | 第66-68页 |
| 4.5.2 Ca复合薄膜器件性能 | 第68-70页 |
| 4.6 碱金属复合非晶IZO TFTs稳定性 | 第70-71页 |
| 4.7 浓度影响器件性能的机理讨论 | 第71-73页 |
| 4.7.1 碱金属对器件性能影响 | 第71-72页 |
| 4.7.2 碱土金属对器件性能影响 | 第72-73页 |
| 4.8 小结 | 第73-74页 |
| 第五章 镧掺杂介质层BiFeO_3薄膜 | 第74-80页 |
| 5.1 研究背景和意义 | 第74页 |
| 5.2 BiFeO_3薄膜制备 | 第74-75页 |
| 5.3 实验表征及分析 | 第75-77页 |
| 5.4 BiFeO_3薄膜性能测试 | 第77-78页 |
| 5.4.1 BiFeO_3薄膜磁学测试 | 第77-78页 |
| 5.4.2 BiFeO_3薄膜电学测试 | 第78页 |
| 5.5 生长机理和薄膜性能的相关讨论 | 第78-79页 |
| 5.6 小结 | 第79-80页 |
| 第六章 金属颗粒复合石墨烯晶体管 | 第80-89页 |
| 6.1 研究背景和意义 | 第80页 |
| 6.2 金属复合石墨烯晶体管 | 第80-82页 |
| 6.2.1 石墨烯制备及拉曼表征 | 第80-81页 |
| 6.2.2 石墨烯晶体管制备 | 第81-82页 |
| 6.3 实验设计 | 第82-83页 |
| 6.4 金属复合石墨烯晶体管 | 第83-87页 |
| 6.4.1 复合器件的AFM表征 | 第83-85页 |
| 6.4.2 金属复合石墨烯晶体管电学测试 | 第85-87页 |
| 6.5 金属颗粒影响器件狄拉克点的讨论 | 第87-88页 |
| 6.6 小结 | 第88-89页 |
| 第七章 总结与展望 | 第89-92页 |
| 7.1 主要研究成果与结论 | 第89-90页 |
| 7.2 后续工作计划与展望 | 第90-92页 |
| 参考文献 | 第92-111页 |
| 攻读博士期间完成的工作 | 第111-112页 |
| 致谢 | 第112页 |
