薄膜衍射元件关键技术研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-28页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 大口径望远镜物镜的实现技术途径 | 第11-19页 |
| 1.2.1 折叠可展开反射技术 | 第11-13页 |
| 1.2.2 薄膜反射成像技术 | 第13-15页 |
| 1.2.3 在轨装配技术 | 第15-16页 |
| 1.2.4. 衍射成像技术 | 第16-19页 |
| 1.3 国内外衍射成像技术的发展现状 | 第19-27页 |
| 1.3.1 国外发展现状 | 第19-24页 |
| 1.3.2 国内发展现状 | 第24-27页 |
| 1.4 论文主要内容简介 | 第27-28页 |
| 第二章 薄膜衍射元件性质及误差分析 | 第28-48页 |
| 2.1 薄膜衍射元件及系统原理 | 第28-31页 |
| 2.2 薄膜衍射元件制作工艺流程 | 第31-33页 |
| 2.3 薄膜衍射元件制作误差分析 | 第33-47页 |
| 2.3.1 刻蚀误差 | 第34-37页 |
| 2.3.2 线宽误差 | 第37-39页 |
| 2.3.3 套刻误差 | 第39-46页 |
| 2.3.4 膜厚均匀性误差 | 第46-47页 |
| 2.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第三章 石英母版制作过程及分析 | 第48-64页 |
| 3.1 石英母版制作过程 | 第48-51页 |
| 3.2 套刻误差的改善 | 第51-62页 |
| 3.2.1 传统摩尔条纹方法 | 第52-56页 |
| 3.2.2 改进型摩尔条纹方法 | 第56-57页 |
| 3.2.3 分步刻蚀法 | 第57-61页 |
| 3.2.4 套刻误差改善的实验验证 | 第61-62页 |
| 3.3 本章小结 | 第62-64页 |
| 第四章 薄膜转印制作过程及分析 | 第64-90页 |
| 4.1 薄膜转印制作过程 | 第64-70页 |
| 4.1.1 溶液涂覆 | 第64-65页 |
| 4.1.2 高温烘烤 | 第65-66页 |
| 4.1.3 冷却分离 | 第66-70页 |
| 4.2 薄膜转印制作误差分析 | 第70-78页 |
| 4.2.1 收缩误差的影响 | 第70-77页 |
| 4.2.2 膜厚误差的影响 | 第77-78页 |
| 4.3 膜厚误差的改善 | 第78-89页 |
| 4.3.1 旋涂工艺优化 | 第79-84页 |
| 4.3.2 等离子体刻蚀修正 | 第84-89页 |
| 4.4 本章小结 | 第89-90页 |
| 第五章 薄膜衍射元件的检测及分析 | 第90-98页 |
| 5.1 薄膜衍射元件制作精度 | 第90-93页 |
| 5.1.1 刻蚀误差 | 第90-91页 |
| 5.1.2 线宽误差 | 第91-92页 |
| 5.1.3 套刻误差 | 第92-93页 |
| 5.2 薄膜衍射元件衍射效率测试 | 第93-95页 |
| 5.3 薄膜衍射元件成像质量 | 第95-97页 |
| 5.4 本章小结 | 第97-98页 |
| 第六章 总结与展望 | 第98-101页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第98-99页 |
| 6.2 论文主要创新点 | 第99页 |
| 6.3 工作展望 | 第99-101页 |
| 参考文献 | 第101-107页 |
| 附录A | 第107-108页 |
| 作者攻读博士学位期间发表的论文与其他成果 | 第108-109页 |
| 致谢 | 第109页 |
