| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第14-32页 |
| 1.1 研究背景 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外研究现状及发展趋势 | 第15-28页 |
| 1.2.1 微装配系统技术国内外研究现状 | 第15-23页 |
| 1.2.2 微装配关键技术研究现状及发展趋势 | 第23-28页 |
| 1.3 研究的目的和意义 | 第28-29页 |
| 1.3.1 研究目的 | 第28页 |
| 1.3.2 研究意义 | 第28-29页 |
| 1.3.3 项目来源 | 第29页 |
| 1.4 关键技术难点 | 第29-30页 |
| 1.5 论文组织结构 | 第30-32页 |
| 第2章 高精度微装配对位检测系统总体技术研究 | 第32-57页 |
| 2.1 微装配系统概述 | 第32-34页 |
| 2.1.1 微装配系统现状 | 第32-33页 |
| 2.1.2 存在的问题 | 第33-34页 |
| 2.2 高精度微装配系统的总体方案研究 | 第34-47页 |
| 2.2.1 微装配系统特点及装配需求 | 第34页 |
| 2.2.2 微装配系统功能和技术要求 | 第34-35页 |
| 2.2.3 系统总体设计方案 | 第35-47页 |
| 2.3 运动控制系统研究 | 第47-52页 |
| 2.3.1 运动控制系统概述 | 第47-49页 |
| 2.3.2 高精度微装配系统控制功能需求 | 第49-50页 |
| 2.3.3 控制系统的方案 | 第50-52页 |
| 2.4 系统软件设计 | 第52-56页 |
| 2.4.1 软件总体结构 | 第52页 |
| 2.4.2 硬件开发模块 | 第52-53页 |
| 2.4.3 系统功能模块分析 | 第53-54页 |
| 2.4.4 控制系统人机界面 | 第54-56页 |
| 2.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第3章 微装配系统的静动态特性分析及优化 | 第57-75页 |
| 3.1 微装配系统关键零部件静态特性分析 | 第57-59页 |
| 3.1.1 结构静力学分析理论 | 第57-58页 |
| 3.1.2 微装配系统静力学分析 | 第58-59页 |
| 3.2 微装配系统动力学特性分析 | 第59-71页 |
| 3.2.1 模态分析基础 | 第60-62页 |
| 3.2.2 装配系统的模态实验 | 第62-68页 |
| 3.2.3 计算模态分析 | 第68-69页 |
| 3.2.4 模态对比分析 | 第69-70页 |
| 3.2.5 环境振动源分析 | 第70-71页 |
| 3.3 微装配系统热力学分析 | 第71-73页 |
| 3.4 本章小结 | 第73-75页 |
| 第4章 高精度微装配对位检测系统的精度分析 | 第75-115页 |
| 4.1 共聚焦对位检测系统的误差源分析 | 第75-91页 |
| 4.1.1 光路几何误差分析 | 第77-83页 |
| 4.1.2 机械系统几何误差分析 | 第83-90页 |
| 4.1.3 系统综合误差分析 | 第90-91页 |
| 4.2 共聚焦对位检测系统误差模型的建立 | 第91-106页 |
| 4.2.1 刚体的空间位姿描述 | 第91-95页 |
| 4.2.2 基于多体理论的系统综合误差建模分析 | 第95-99页 |
| 4.2.3 共聚焦对位检测系统的建模过程 | 第99-102页 |
| 4.2.4 基于多体理论的位置和方向误差的建模 | 第102-104页 |
| 4.2.5 激光共聚焦对位系统的误差计算 | 第104-106页 |
| 4.3 系统误差灵敏度分析 | 第106-114页 |
| 4.3.1 误差灵敏度分析 | 第107-108页 |
| 4.3.2 几何误差参数分析 | 第108-111页 |
| 4.3.3 系统运动误差灵敏度分析结果 | 第111-114页 |
| 4.4 基于系统灵敏度分析的结构优化 | 第114页 |
| 4.5 本章小结 | 第114-115页 |
| 第5章 基于微力/位姿映射关系的亚微米级对位技术研究 | 第115-140页 |
| 5.1 微力位姿关系的有限元仿真分析 | 第115-117页 |
| 5.1.1 有限元模型建立 | 第115-116页 |
| 5.1.2 仿真分析设置 | 第116页 |
| 5.1.3 仿真结果 | 第116-117页 |
| 5.2 微力位姿关系的实验研究 | 第117-121页 |
| 5.2.1 实验平台搭建 | 第117-119页 |
| 5.2.2 实验参数设置 | 第119页 |
| 5.2.3 实验具体步骤 | 第119页 |
| 5.2.4 实验数据处理 | 第119-121页 |
| 5.3 微力/位姿映射定量关系的建立 | 第121-133页 |
| 5.3.1 装配力的坐标系转换 | 第121-123页 |
| 5.3.2 基于微力/位姿映射关系的力学模型 | 第123-126页 |
| 5.3.3 基于混合神经网络的映射模型 | 第126-132页 |
| 5.3.4 基于微力/位姿映射关系的装配策略 | 第132-133页 |
| 5.4 高精度微装配方法验证 | 第133-139页 |
| 5.4.1 基于微力-微变形的对位检测分辨率验证 | 第133-134页 |
| 5.4.2 微力/位姿映射关系的高精度装配方法的验证实验 | 第134-139页 |
| 5.5 本章小结 | 第139-140页 |
| 第6章 微装配系统误差标定与补偿技术 | 第140-152页 |
| 6.1 装配基准台的调平标定 | 第140-144页 |
| 6.2 共聚焦系统棱镜位姿标定 | 第144-147页 |
| 6.3 共聚焦对准检测模块误差标定 | 第147-151页 |
| 6.4 本章小结 | 第151-152页 |
| 第7章 总结和展望 | 第152-155页 |
| 7.1 主要研究成果 | 第152-153页 |
| 7.2 主要创新点 | 第153-154页 |
| 7.3 建议和展望 | 第154-155页 |
| 参考文献 | 第155-164页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第164-165页 |
| 致谢 | 第165-166页 |
| 附录A 神经网络（GA-BP）程序 | 第166-170页 |
| 附录B 训练样本（部分） | 第170-172页 |