| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第13-30页 |
| 1.1 课题的来源及意义 | 第13-15页 |
| 1.1.1 本课题来源 | 第13页 |
| 1.1.2 课题研究背景及意义 | 第13-15页 |
| 1.2 相关技术的发展与研究概况 | 第15-27页 |
| 1.2.1 大尺寸光学元件检测方法综述 | 第15-23页 |
| 1.2.2 子孔径干涉拼接测量方法综述 | 第23-25页 |
| 1.2.3 动态干涉测量技术综述 | 第25-27页 |
| 1.3 存在的主要问题 | 第27-28页 |
| 1.4 课题主要研究内容 | 第28-30页 |
| 第二章 大尺寸平面光学元件在位检测系统 | 第30-43页 |
| 2.1. 引言 | 第30页 |
| 2.2. 在位检测装置方案设计 | 第30-34页 |
| 2.2.1. 结构方案设计 | 第30-32页 |
| 2.2.2. 关键部件设计 | 第32-34页 |
| 2.3. 在位测量装置主要技术指标 | 第34-36页 |
| 2.3.1. 运动导轨几何精度 | 第34-35页 |
| 2.3.2. 测量装置静力学分析 | 第35页 |
| 2.3.3. 测量装置动力学分析 | 第35-36页 |
| 2.4. 子孔径拼接测量软件功能设计 | 第36-37页 |
| 2.5. 在位拼接测量流程 | 第37-41页 |
| 2.6. 本章小结 | 第41-43页 |
| 第三章 子孔径拼接算法 | 第43-69页 |
| 3.1. 引言 | 第43页 |
| 3.2. 子孔径误差均化拼接算法 | 第43-48页 |
| 3.2.1. 数学模型 | 第43-46页 |
| 3.2.2. 算法精度分析 | 第46-48页 |
| 3.3. 二阶项误差的累积 | 第48-59页 |
| 3.3.1. 二阶项误差累积原因 | 第49-50页 |
| 3.3.2. 二阶项累积扩大规律分析 | 第50-53页 |
| 3.3.3. 累积规律模拟验证 | 第53-56页 |
| 3.3.4. 补偿方法模拟实验分析 | 第56-59页 |
| 3.4. 无重叠子孔径拟合拼接算法 | 第59-68页 |
| 3.4.1. 数学模型 | 第59-60页 |
| 3.4.2. 方形Zernike多项式 | 第60-62页 |
| 3.4.3. 子孔径误差对拼接精度的影响 | 第62-64页 |
| 3.4.4. 无重叠子孔径数量和分布 | 第64-65页 |
| 3.4.5. 算法验证 | 第65-68页 |
| 3.5. 本章小结 | 第68-69页 |
| 第四章 子孔径干涉拼接测量的误差分析 | 第69-86页 |
| 4.1. 引言 | 第69页 |
| 4.2. 测量系统误差 | 第69-77页 |
| 4.2.1. 动态干涉仪的基本原理 | 第69-70页 |
| 4.2.2. 回程误差 | 第70-73页 |
| 4.2.3. 参考镜面形误差 | 第73-75页 |
| 4.2.4. 干涉仪参数设置 | 第75-77页 |
| 4.3. 测量随机误差 | 第77-85页 |
| 4.3.1. 温度对测量精度的影响 | 第77-80页 |
| 4.3.2. 湿度对测量精度的影响 | 第80-81页 |
| 4.3.3. 杂质点对测量精度的影响 | 第81-82页 |
| 4.3.4. 振动对测量精度的影响 | 第82-83页 |
| 4.3.5. 调整误差对测量精度的影响 | 第83-85页 |
| 4.4. 本章小结 | 第85-86页 |
| 第五章 在位干涉拼接测量实验分析 | 第86-105页 |
| 5.1. 引言 | 第86页 |
| 5.2. 实验环境 | 第86-88页 |
| 5.3. 评价指标 | 第88-89页 |
| 5.4. 不同样本的测量实验 | 第89-102页 |
| 5.4.1. ?100 mm标准反射镜 | 第89-91页 |
| 5.4.2. ?210 mm×25 mm圆形工件 | 第91-92页 |
| 5.4.3. 200 mm×300 mm×30 mm K9玻璃矩形工件 | 第92-95页 |
| 5.4.4. 200 mm×300 mm×40 mm石英玻璃矩形工件 | 第95-96页 |
| 5.4.5. 300 mm×500 mm×30 mm矩形工件 | 第96-98页 |
| 5.4.6. 440 mm×440 mm×60 mm熔石英方形工件 | 第98-100页 |
| 5.4.7. 780 mm×420 mm×40 mm钕玻璃矩形工件 | 第100-102页 |
| 5.5. 样件支撑变形分析 | 第102-104页 |
| 5.6. 本章小结 | 第104-105页 |
| 第六章 结论与展望 | 第105-109页 |
| 6.1. 结论 | 第105-107页 |
| 6.2. 展望 | 第107-109页 |
| 参考文献 | 第109-115页 |
| 作者在攻读博士学位期间发表的论文及申请的专利 | 第115-116页 |
| 致谢 | 第116-118页 |
